[发明专利]物理量传感器

说明书

使支承检测平衡块(35、36)的第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的弹簧常数不同。而且，增大第一检测梁(41a)以及第二检测梁(41b)的一方的x轴方向的尺寸，并增大检测压电膜(61a～61d)的形成面积，从而实现灵敏度提高，并且抑制另一方的x轴方向的尺寸，从而抑制检测共振频率变大。由此，能够实现灵敏度的提高。

相关申请的相互参照

本申请基于2016年7月1日提交的日本申请号2016－131788，此处通过参照引用其记载内容。

技术领域

本公开涉及一种物理量传感器，被弹簧支承而能够位移的检测平衡块根据物理量的施加而位移，从而检测所施加的物理量，例如优选适用于角速度传感器及加速度传感器。

背景技术

以往，作为物理量传感器，提出了如下陀螺仪传感器：基于支承于弹簧的检测平衡块伴随着角速度的施加而位移，根据该位移量检测被施加的角速度(例如参照专利文献1)。该陀螺仪传感器具有沿基板平面方向振动的驱动平衡块、以及经由检测弹簧连接于驱动平衡块的检测平衡块，通过使驱动平衡块向规定方向驱动振动，在角速度施加时使检测平衡块向与驱动振动交叉的方向振动，从而进行角速度检测。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014－006238号公报

发明内容

在上述构造的物理量传感器中，考虑到灵敏度、耐冲击性而有梁变细的趋势。在物理量传感器中，存在将检测平衡块的位移作为静电电容而取出的静电电容式的物理量传感器、以及将检测平衡块的位移作为压电变化而取出的压电式的物理量传感器，但在压电式的情况下，在较细的梁形成压电膜，压电膜的形成面积变少，无法获得希望的灵敏度。但是，若为了确保压电膜的形成面积而加粗梁，则梁的刚性变高进而物理量施加时的检测平衡块的共振频率变高，反而会导致灵敏度降低，仅靠加粗梁不能实现灵敏度提高。

本公开鉴于上述点，目的在于提供能够实现灵敏度的提高的压电式的物理量传感器。

本公开的一个观点中的物理量传感器具备：基板；检测平衡块，经由包含检测梁的梁部而支承于基板；以及检测压电膜，被设置于检测梁，若检测平衡块基于物理量的施加而向一个方向移动，则该检测压电膜产生与伴随着该检测平衡块的移动而进行的检测梁的位移相应的电输出，检测梁具有在一方向上错开位置而双臂支承检测平衡块的第一检测梁以及第二检测梁，第一检测梁的弹簧常数与第二检测梁的弹簧常数不同，在第一检测梁配备有检测压电膜。

这样，使支承检测平衡块的第一检测梁以及第二检测梁的弹簧常数不同。因此，能够对于第一检测梁以及第二检测梁的一方增大尺寸。或者，能够降低第一检测梁以及第二检测梁的一方的刚性，因此即使使第一检测梁以及第二检测梁的尺寸相等，与用刚性高的材质构成两方的情况比较，也能够增大尺寸。因此，能够增大检测压电膜的形成面积。另外，能够抑制检测共振频率变大。由此，能够实现灵敏度的提高。

附图说明

图1是第一实施方式的振动型角速度传感器的平面示意图。

图2是表示振动型角速度传感器的基本动作时的情形的示意图。

图3是表示振动型角速度传感器被施加了角速度时的情形的示意图。

图4是表示图3中的第一检测梁的位移的情形的放大图。

图5A是表示仅具备第一检测梁且不具备第二检测梁的情况下的弹簧构造的示意图。

图5B是表示具备第一检测梁以及第二检测梁的情况下的弹簧构造的示意图。

具体实施方式