[发明专利]液滴沉积装置

权利要求书

1.一种用于液滴沉积装置的电路，所述电路配置为生成具有驱动脉冲、第一非喷射脉冲和第二非喷射脉冲的驱动波形，其中，所述第一非喷射脉冲相对于所述第二非喷射脉冲是反转的；

其中，所述驱动波形包括所述第一非喷射脉冲和所述第二非喷射脉冲之间的第一延迟；以及

其中，所述第一延迟大于零。

2.根据权利要求1所述的电路，其中，所述第一延迟被选择作为所述驱动脉冲的第一脉冲宽度的函数。

3.根据权利要求1所述的电路，其中，所述驱动波形包括所述驱动脉冲和所述第一非喷射脉冲之间的第二延迟。

4.根据权利要求3所述的电路，其中，所述第二延迟被选择作为所述驱动脉冲的第一脉冲宽度的函数。

5.根据权利要求1-4中的任一项所述的电路，其中，所述第一非喷射脉冲相对于所述驱动脉冲不是反转的，以及其中，所述第二非喷射脉冲相对于所述驱动脉冲是反转的。

6.根据权利要求2或4所述的电路，其中，所述第一脉冲宽度在如下范围内：0.25≤第一脉冲宽度/压力室的亥姆霍兹周期≤0.75。

7.根据权利要求2-4中任一项所述的电路，其中，所述第一延迟在如下范围内：0第一延迟/所述驱动脉冲的第一脉冲宽度≤0.55。

8.根据权利要求3或4所述的电路，其中，所述第二延迟在如下范围内：0.44≤第二延迟/所述驱动脉冲的第一脉冲宽度≤0.59。

9.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述第一非喷射脉冲包括第二脉冲宽度，以及所述第二非喷射脉冲包括第三脉冲宽度。

10.根据权利要求9所述的电路，其中，所述第二脉冲宽度在如下范围内：0.20≤第二脉冲宽度/所述驱动脉冲的第一脉冲宽度≤0.40。

11.根据权利要求9所述的电路，其中，所述第三脉冲宽度在如下范围内：0.25≤第三脉冲宽度/所述驱动脉冲的第一脉冲宽度≤0.6。

12.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述驱动脉冲包括第一幅度，并且其中，所述第一非喷射脉冲包括第二幅度。

13.根据权利要求12所述的电路，其中，所述第一幅度基本上等于所述第二幅度。

14.根据权利要求12所述的电路，其中，所述第二幅度在如下范围内：0.65≤第二幅度/第一幅度≤1.35。

15.根据权利要求12所述的电路，其中，所述第二非喷射脉冲包括第三幅度。

16.根据权利要求15所述的电路，其中，所述第三幅度在如下范围内：0第三幅度/第一幅度≤0.65。

17.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述驱动波形包括两个或更多个驱动脉冲，所述两个或更多个驱动脉冲布置为当施加到致动器元件时产生子液滴。

18.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述驱动脉冲包括正弦驱动脉冲，所述正弦驱动脉冲包括第一驱动部分和第二驱动部分。

19.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述驱动脉冲、所述第一非喷射脉冲和所述第二非喷射脉冲中的一个或更多个被修整。

20.根据权利要求1-4中任一项所述的电路，其中，所述驱动脉冲被施加到致动器元件，以在相关联的压力室中产生第一压力波，从而导致液滴喷射。