[发明专利]显微术的布置和校正像差的布置

权利要求书

1.一种显微术的布置，包括

-照明光学单元，所述照明光学单元具有经由照明束路径照明在样品平面(4)的样品区域中位于样品载体(7)上的样品(5)的照明物镜(2)，其中

所述照明物镜(2)的光轴(A1)位于包含与所述样品平面(4)的法线成不为零的照明角(α1)的平面中，所述样品载体(7)关于所述样品平面(4)对准，并且所述照明实现在所述平面中，

-具有检测束路径中的检测物镜(3)的检测光学单元，所述检测物镜(3)的光轴(A2)包含与所述样品平面(4)的法线成不为零的检测角(α2)，

-所述照明物镜(2)包括布置在束路径或者可引入到束路径中的照明校正元件(2KE)，和/或

-所述检测物镜(3)包括布置在束路径或者可引入到束路径中的检测校正元件(3KE)，

其特征在于

-弯月形透镜(10)出现在所述样品载体(7)和所述物镜(2、3)之间，所述弯月形透镜布置在照明束路径中和检测束路径中，

-所述弯月形透镜(10)实施为校正由于穿过具有要检测的辐射和/或照明所述样品的辐射的不同折射率的介质的通道而产生的像差，

-所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)实施为校正剩余的像差，

-出于照明目的采用的辐射成形为光片(6)并且被指引到所述样品区域中，并且所述照明物镜(2)的光轴(A1)和所述光片(6)位于包含与所述样品平面(4)的法线成不为零的照明角(α1)的平面中，并且

-具有至少一个层的分离层系统，所述至少一个层由具有预先确定厚度的预先确定材料制成，所述至少一个层使所述样品(5)位于其中的介质(8)与所述照明物镜(2)和所述检测物镜(3)分离，其中分别出于照明和检测目的，至少在可达到所述照明物镜(2)和所述检测物镜(3)的区域中，通过平行于所述样品平面(4)对准的基底，使所述分离层系统与浸没介质(18)接触。

2.根据权利要求1所述的布置(1)，其特征在于，所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)布置在所述照明物镜(2)和/或所述检测物镜(3)的光瞳中。

3.根据权利要求1所述的布置(1)，其特征在于，所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)是至少一个相位板或自由形式透镜。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的布置(1)，其特征在于，所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)是校正静态像差的相位板，并且自适应反射镜或空间光调制器出现在所述照明束路径中和/或所述检测束路径中。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的布置(1)，其特征在于，所述照明校正元件(2KE)和/或所述检测校正元件(3KE)关于其校正能力具有可调整的和自适应的实施例。

6.根据权利要求5所述的布置(1)，其特征在于，所述自适应照明校正元件(2KE)和/或所述自适应检测校正元件(3KE)是Alvarez操纵器(12)、空间光调制器、至少一个自适应反射镜、至少一个倾斜透镜、至少一个滑动透镜、至少一个可变形光学透镜或其组合。

7.根据权利要求5所述的布置(1)，其特征在于，所述自适应照明校正元件(2KE)和/或所述自适应检测校正元件(3KE)是空间光调制器，并且柱面透镜(9)出现在所述检测束路径中以部分补偿发生的像散。

8.根据权利要求5所述的布置(1)，其特征在于，所述自适应检测校正元件(3KE)是自适应反射镜，并且柱面透镜(9)出现在所述照明束路径和/或检测束路径中以部分补偿发生的像散。

9.一种显微镜(0)，所述显微镜(0)包括前述权利要求中任一项所述的布置(1)。