[发明专利]化合物、树脂、组合物和图案形成方法在审
申请号: | 201780041706.4 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN109415286A | 公开(公告)日: | 2019-03-01 |
发明(设计)人: | 越后雅敏 | 申请(专利权)人: | 三菱瓦斯化学株式会社 |
主分类号: | C07C43/215 | 分类号: | C07C43/215;C07C69/54;C07D311/80;C07D311/90;C08F216/10;C08F224/00;G03F7/031;G03F7/11;G03F7/20;G03F7/26 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图案形成 树脂 | ||
1.一种下述式(0)所示的化合物,
式(0)中,RY为氢原子、碳数1~30的烷基或碳数6~30的芳基,
RZ为碳数1~60的N价的基团或单键,
RT各自独立地为任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基、羟基或羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键,此处,RT中的至少1个包含羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,
X表示氧原子、硫原子或为无桥接,
m各自独立地为0~9的整数,此处,m中的至少1个为1~9的整数,
N为1~4的整数,此处,N为2以上的整数的情况下,N个[]内的结构式任选相同或不同,
r各自独立地为0~2的整数。
2.根据权利要求1所述的化合物,其中,所述式(0)所示的化合物为下述式(1)所示的化合物,
式(1)中,R0与所述RY为相同含义,
R1为碳数1~60的n价的基团或单键,
R2~R5各自独立地为任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基、羟基或羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键,此处,R2~R5中的至少1个包含羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,
m2和m3各自独立地为0~8的整数,
m4和m5各自独立地为0~9的整数,
其中,m2、m3、m4和m5不同时成为0,
n与所述N为相同含义,此处,n为2以上的整数的情况下,n个[]内的结构式任选相同或不同,
p2~p5与所述r为相同含义。
3.根据权利要求1所述的化合物,其中,所述式(0)所示的化合物为下述式(2)所示的化合物,
式(2)中,R0A与所述RY为相同含义,
R1A为碳数1~60的nA价的基团或单键,
R2A各自独立地为任选具有取代基的碳数1~30的烷基、任选具有取代基的碳数6~30的芳基、任选具有取代基的碳数2~30的烯基、任选具有取代基的碳数1~30的烷氧基、卤素原子、硝基、氨基、羧酸基、巯基、羟基或羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,所述烷基、所述芳基、所述烯基、所述烷氧基任选包含醚键、酮键或酯键,此处,R2A中的至少1个包含羟基的氢原子被选自烯丙氧基烷基、丙烯酰氧基烷基或甲基丙烯酰氧基烷基中的1个基团取代的基团,
nA与所述N为相同含义,此处,nA为2以上的整数的情况下,nA个[]内的结构式任选相同或不同,
XA表示氧原子、硫原子或为无桥接,
m2A各自独立地为0~7的整数,其中,至少1个m2A为1~7的整数,
qA各自独立地为0或1。
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