[发明专利]压力差传感器

权利要求书

1.用于确定压力测量信号的压力差传感器，所述压力差传感器包括：

压力差测量单元(100)，所述压力差测量单元(100)基本上为半导体材料，优选硅，其中，所述压力差测量单元能够供应有第一压力和第二压力，并且在电换能器元件(103、104、105、106、107、108、110)帮助的情况下，根据所述第一压力与所述第二压力之间的差输出所述压力测量信号；

第一加强元件(118)，所述第一加强元件(118)优选地为陶瓷或半导体材料，其中，所述第一加强元件利用第一接合层(116)与所述压力差测量单元(100)接合并具有第一管道(109)，经由所述第一管道(109)所述第一压力能够供应给所述压力差测量单元(100)；

第二加强元件(119)，所述第二加强元件(119)优选地为陶瓷或半导体材料，其中，所述第二加强元件利用第二接合层(117)与所述压力差测量单元(100)接合并具有第二管道，经由所述第二管道所述第二压力能够供应给所述压力差测量单元(100)；

其中，所述第一接合层(116)和/或所述第二接合层(117)包括导电材料，优选金属材料，并且所述第一接合层(116)和/或所述第二接合层(117)除了用于所述压力差测量单元(100)与所述第一加强元件(118)和所述第二加强元件(119)的机械连接之外还用于实现电功能。

2.根据权利要求1所述的压力差传感器，其中为了实现所述电功能，所述第一接合层(116)和/或所述第二接合层(117)与所述电换能器元件(103、104、105、106、107、108、110)的至少一个组件连接。

3.根据权利要求2所述的压力差传感器，其中，所述压力差测量单元(100)具有第一平台(101)和第二平台(102)，其中的每一个均包括至少第一导电层(105)以及第一绝缘层(104)和第二绝缘层(106)的层结构，

其中，所述第一平台(101)和所述第二平台(102)中的每一个在周边边缘区域中经由所述第一绝缘层(104)与测量膜(103)紧密地连接，

其中，所述第一绝缘层(104)在每种情况下被结构化为使得在每种情况下，在所述测量膜(103)与所述第一导电层(105)之间形成压力腔室(113)，

其中，所述第一平台(101)和所述第二平台(102)中的每一个均分别经由第一接合部(116)和第二接合部(117)与所述第一加强元件(118)和所述第二加强元件(119)接合，所述第一接合部(116)和所述第二接合部(117)中的每一个均被分别施加在所述第一平台(101)和所述第二平台(102)的第二绝缘层(108)上，

其中，所述第一平台(101)和所述第二平台(102)中的每一个均具有通道(109)，使得所述第一压力和所述第二压力分别能够供应给其压力腔室(113)，以便使得能够实现所述测量膜(103)的与压力相关的偏转，

其中，所述测量膜(103)的与压力相关的偏转经由至少一个电容(C1,C2)被记录，所述至少一个电容(C1,C2)形成在作为第一电极的所述测量膜与第一导电层的作为第二电极的至少一个子区域之间，

其中，作为所述电换能器元件(103、104、105、106、107、108、110)的组件的所述第二电极(110)至少部分地通过所述第一接合部(116)或所述第二接合部(117)在每种情况下与电极端子(115)电接触，使得所述第一接合部(116)或所述第二接合部(117)至少部分地用作电导体或导电连接。

4.根据前一权利要求所述的压力差传感器，其中，所述电极端子(115)被布置在所述第一平台(101)和所述第二平台(102)的基本上垂直于所述测量膜(103)延伸的外表面上。

5.根据前一权利要求所述的压力差传感器，其中，所述电极端子(115)是以在所述外表面上生产的导电电极端子层特别是金属化电极端子层的形式实现的。

6.根据权利要求3所述的压力差传感器，其中，所述电极端子(115)是通过所述第一加强元件(118)或所述第二加强元件(119)的基本上垂直于所述测量膜(103)延伸的外表面来实现的。