[发明专利]衬底保持器和制造衬底保持器的方法

权利要求书

1.一种用于光刻设备的衬底保持器，配置成支撑衬底，所述衬底保持器包括：

具有主体表面的主体；

从所述主体表面突出的多个突节，其中

每个突节具有突节侧表面和远端表面，其中所述远端表面配置成与所述衬底接合；

所述多个突节的远端表面基本上与支撑平面保持形状一致并且被配置用于支撑所述衬底；

其中，

连续的碳基材料层被设置，所述连续的碳基材料层包括多个第一区域和至少一个第二区域，所述多个第一区域中的每一个第一区域具有第一厚度，所述至少一个第二区域具有第二厚度，所述碳基材料提供具有比所述主体表面更低的摩擦系数的表面，

所述多个第一区域一起仅覆盖所述多个突节中的至少一个突节的远端表面的一部分，或者覆盖所述多个突节中的至少一个突节的远端表面和所述突节侧表面的至少一部分，并且

所述第一厚度大于所述第二厚度，并且其中所述第二厚度小于300nm。

2.根据权利要求1所述的衬底保持器，其中，所述第一厚度在0.5μm至1.5μm的范围内，所述第二厚度在200nm至300nm的范围内。

3.根据权利要求1所述的衬底保持器，其中，所述碳基材料是类金刚石碳。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的衬底保持器，其中，所述多个第一区域中的每一个第一区域覆盖所述多个突节中的至少一个突节的所述突节侧表面、所述远端表面、以及与所述突节侧表面直接相邻的所述主体表面的一部分。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的衬底保持器，其中，所述多个第一区域中的一个或更多个第一区域中的每一个第一区域覆盖单个突节的远端表面和突节侧表面的一部分。

6.根据权利要求5所述的衬底保持器，其中，当垂直于所述主体表面观察时，覆盖单个突节的所述远端表面和所述突节侧表面的一部分的所述多个第一区域中的每一个第一区域的最大横向尺寸小于所述突节的中心与最近的其他突节的中心之间的距离。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的衬底保持器，其中，所述多个第一区域覆盖从所述主体表面突出的多个突节中的每一个突节的远端表面。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的衬底保持器，还包括从所述主体表面突出的密封件，所述密封件具有密封端面，

其中所述多个第一区域覆盖所述密封端面。

9.一种用于光刻设备的衬底保持器，配置成支撑衬底，所述衬底保持器包括：

具有主体表面的主体；

从所述主体表面突出的多个突节，其中

每个突节具有突节侧表面和远端表面，其中所述远端表面配置成与所述衬底接合；

所述多个突节的远端表面基本上与支撑平面保持形状一致并且被配置用于支撑所述衬底；

其中，

碳基材料层被设置在碳基材料的多个分离区域中，所述碳基材料层提供具有比所述主体表面的在所述碳基材料的多个分离区域之外的部分更低的摩擦系数的表面；和

所述碳基材料层覆盖所述多个突节中的至少一个突节的远端表面和所述突节侧表面的至少一部分，并且其中，所述多个分离区域中的每一个分离区域被设置在多个突节上。

10.根据权利要求9所述的衬底保持器，其中，所述碳基材料层的厚度在0.5μm至1.5μm的范围内。