[发明专利]利用半分法的LM导轨组装方法及记录了执行该方法的程序的计算机可读记录介质

说明书

公开一种利用半分法的LM导轨组装方法及执行该方法的计算机可读记录介质。所公开的利用半分法的LM导轨组装方法，利用沿长度方向按相同间隔形成有多个连结孔的LM轨、按与所述LM轨相同间隔形成有多个连结孔的辅助工作台及连结于所述辅助工作台并形成有连结孔的LM凸块，将LM导轨组装于底座，其特征在于，包括：将LM轨配置于底座上部的步骤(S100)；利用连结装置连结在所述LM轨上形成的多个连结孔中从所述LM轨一端起的第一孔和从所述LM轨一端起的第(2ⁿ+1)孔的步骤(S110)；将角度测量装置加装于所述辅助工作台上部的步骤(S120)；利用连结装置连结在所述LM轨上形成的多个连结孔中从所述LM轨一端起的第(2^n‑1+1)孔的步骤(S130)；在从所述LM轨一端起的第一孔的上部和从所述LM轨一端起的第(2^n‑1+1)孔的上部分别配置LM凸块的步骤(S140)；在从所述LM轨一端起的第一孔上部和从所述LM轨一端起的第(2^n‑1+1)孔上部分别配置的LM凸块的上部，配置一体形成的所述辅助工作台，并利用连结装置进行连结的步骤(S150)；将所述辅助工作台的角度利用所述角度测量装置设置为零度的步骤(S160)；结合于所述辅助工作台的两个LM凸块在从所述LM轨一端起的第(2^n‑1+1)孔上部和从所述LM轨一端起的第(2ⁿ+1)孔的上部配置为各出现一个后，测量所述辅助工作台的角度的步骤(S170)；算出由在所述S170步骤中测量的辅助工作台角度决定的既定直线度补正量的步骤(S180)；松开从所述LM轨一端起的第(2^n‑1+1)孔的连结装置，使轨的第(2^n‑1+1)孔部位按所述S180步骤算出的直线度补正量进行移动后，利用连结装置进行连结的步骤(S190)；反复执行所述S130步骤至S190步骤，每次将n减少1，直至n＝1为止，所述n为自然数。

技术领域

本发明涉及LM导轨组装方法及记录了执行该方法的程序的计算机可读记录介质，更详细而言，涉及一种当将LM导轨组装于底座时应用半分法，提高LM导轨组装时的直线度，基于利用角度测量装置测量的角度值自动算出直线度补正量，实现缩短测量时间和测量自动化的LM导轨组装方法及记录了执行该方法的程序的计算机可读记录介质。

背景技术

一般而言，在构成液晶显示装置或等离子体显示装置等平板显示装置(FPD:FlatPanel Display)的基板上形成图案的方法是，首先在基板上涂覆图案材料，使用光掩模对图案材料进行选择性地曝光，从而选择性地去除化学性质不同的图案材料部分或此外的部分，从而形成图案。

随着基板逐渐大型化、在曝光面形成的图案的精密化，正在使用不用光掩模的无掩模曝光装置，无掩模曝光装置使用电子装置(Electronic Device)，利用以电气信号形成的图案信息，通过使光束转写于基板的方式来形成图案。

这种无掩模曝光装置在使基板移动的同时，在曝光面形成图案，此时，使基板移动的线性平台的精密度对在曝光面形成的图案的品质产生影响。特别是，线性平台的直线度(straightness)，对在曝光面形成的图案的品质产生直接的影响。

线性平台在LM导轨上行驶，因此，为了提高线性平台的直线度，应将LM导轨按高精度的直线度组装于底座。

以往，当组装LM导轨时，利用角度测量装置，沿LM导轨的长度方向，依次测量LM导轨的角度后补正误差。但是，根据这种依次补正方法，在补正过程中流入的误差必然会在后续的测量地点被放大，由于这种方法上的先天性问题，在LM导轨的端部，反映了很大的误差，无法以高精度的直线度组装LM导轨。

因此，迫切要求开发一种新的LM导轨组装方法，不仅使得在LM导轨组装过程中流入的误差不会在后续测量地点放大，而且能够减小误差。

发明内容

本发明正是为了解决如上所述的问题而研发的，目的是提供一种能够切断在组装LM导轨时流入的误差被放大的LM导轨组装方法。