[发明专利]流体操纵的膜片驱动器的操纵单元以及对于其制造的方法和以其装备的膜片驱动器

权利要求书

1.一种流体操纵的膜片驱动器的操纵单元，带有具有中央的穿孔(32)的可弹性变形的驱动器膜片(5)、两个在彼此轴向对立的侧上在侧面包围所述驱动器膜片(5)的环形的保持元件(43,44)、和穿过所述驱动器膜片(5)和所述保持元件(43,44)的从动杆(16)，其中所述驱动器膜片(5)的中央的膜片固定区段(33)夹入在两个固定在所述从动杆(16)处的保持元件(43,44)之间，其特征在于，两个所述保持元件(43,44)以彼此关于所述驱动器膜片(5)引起预确定的夹入力的轴向间距彼此独立地通过各一个焊接连接(45,46)固定在所述从动杆(16)处。

2.根据权利要求1所述的操纵单元，其特征在于，在所述膜片固定区段(33)的区域中的在两个保持元件(43,44)之间的轴向间距小于在所述膜片固定区段(33)的未夹入的初始状态中的夹入的膜片固定区段(33)的轴向厚度。

3.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，每个焊接连接(45,46)由相对所述从动杆(16)同心的、环形的焊缝(54)构成。

4.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，两个所述焊接连接(45,46)分别是激光焊接连接。

5.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，所述焊接连接(45,46)构造在所述保持元件(43,44)的与夹入的所述膜片固定区段(33)轴向背离的端侧的区域中。

6.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，两个所述保持元件(43,44)垫圈形地构造。

7.根据权利要求6所述的操纵单元，其特征在于，所述垫圈形的保持元件(43,44)的环形体(55)具有U形的横截面，其中所述U形的横截面的开口与夹入的所述膜片固定区段(33)背离。

8.根据权利要求7所述的操纵单元，其特征在于，所述焊接连接(45,46)分别在端侧构造在形成所述环形体(55)的横截面的内部的U形支腿的所述保持元件(43,44)的内部的套筒形的区段(56)和所述从动杆(16)之间。

9.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，在两个所述保持元件(43,44)之间夹入的膜片固定区段(33)具有包围所述驱动器膜片(5)的中央的穿孔(32)的环形的内部的部分固定区段(33a)和同心地包围所述内部的部分固定区段(33a)的具有小于环形的内部的部分固定区段(33a)的厚度的环形的外部的部分固定区段(33b)，其中环形的所述保持元件(43,44)的加载所述膜片固定区段(33)的前面的轴向端面(48)分别具有同心的阶形部(62)，该阶形部布置在加载外部的部分固定区段(33b)的环形的外部的端面区段(48a)和与此有关地轴向地回置的、加载所述内部的部分固定区段(33a)的环形的内部的端面区段(48b)之间。

10.根据权利要求1或2所述的操纵单元，其特征在于，所述从动杆(16)和环形的所述保持元件(43,44)由金属构成。

11.根据权利要求10所述的操纵单元，其特征在于，所述金属是钢。