[发明专利]悬浮等离子体热喷涂用浆料、稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法和热喷涂构件

权利要求书

1.悬浮等离子体热喷涂用浆料，是用于包含含氧气体的气氛下的悬浮等离子体热喷涂的热喷涂材料，其特征在于，含有5质量％以上且40质量％以下的最大粒径D100为12μm以下的稀土类氟化物粒子，以选自水和有机溶剂中的1种或2种以上作为溶剂。

2.根据权利要求1所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料，其特征在于，还含有3质量％以下的由有机化合物构成的防凝聚剂。

3.根据权利要求1所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料，其特征在于，还含有5质量％以下的选自稀土类氧化物、稀土类氢氧化物和稀土类碳酸盐中的1种或2种以上的微粒添加剂。

4.根据权利要求1所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料，其特征在于，稀土元素为选自钇、钆、钬、铒、镱和镥中的1种或2种以上。

5.根据权利要求1所述的悬浮等离子体热喷涂用浆料，其特征在于，所述悬浮等离子体热喷涂为大气悬浮等离子体热喷涂。

6.稀土类氧氟化物热喷涂膜的形成方法，其特征在于，包含如下工序：以根据权利要求1～4中任一项所述的浆料作为热喷涂材料，在包含含氧气体的气氛下采用悬浮等离子体热喷涂在基材上形成热喷涂膜。

7.根据权利要求6所述的形成方法，其特征在于，所述悬浮等离子体热喷涂为大气悬浮等离子体热喷涂。

8.根据权利要求6所述的形成方法，其特征在于，所述热喷涂膜包含稀土类氧氟化物作为主相。

9.根据权利要求6所述的形成方法，其特征在于，所述稀土类氧氟化物包含选自ReOF、Re₅O₄F₇、Re₆O₅F₈和Re₇O₆F₉中的1种或2种以上的稀土类氧氟化物，其中，Re表示稀土元素。

10.根据权利要求6所述的形成方法，其特征在于，所述热喷涂膜为稀土类氧氟化物、稀土类氧化物和稀土类氟化物的混合物。

11.热喷涂构件，其特征在于，具备：包含选自Re₅O₄F₇、Re₆O₅F₈和Re₇O₆F₉中的1种或2种以上的稀土类氧氟化物的结晶相作为主相的热喷涂膜和形成有热喷涂膜的基材，其中，Re表示稀土元素。

12.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，稀土元素为选自钇、钆、钬、铒、镱和镥中的1种或2种以上。

13.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，所述热喷涂膜为稀土类氧氟化物、稀土类氧化物和稀土类氟化物的混合物。

14.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，所述热喷涂膜的厚度为10μm以上且150μm以下。

15.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，所述热喷涂膜的气孔率为1体积％以下。

16.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，在热喷涂膜的X射线衍射中，相对于构成热喷涂膜的结晶相的最大峰之和，归属于稀土类氧氟化物的峰值相的最大峰之和为至少50％。

17.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，所述热喷涂膜的气孔率为0.5体积％以下。

18.根据权利要求11所述的热喷涂构件，其特征在于，结晶相的最大峰为归属于稀土类氧氟化物相的最大峰。