[发明专利]光发射设备和用于制造光发射设备的方法

说明书

本发明涉及一种光发射设备(1)，其具有：衬底(2)；光发射装置(3)，所述光发射装置布置在所述衬底(2)上并且构造用于发射激光射束(S)。在所述衬底(2)上布置有可摆动的光偏转装置(4)。加罩装置(5)布置在所述衬底(2)上并且覆盖所述光发射装置(3)和所述光偏转装置(4)，其中，所述加罩装置(5)具有第一罩区段(5a)和透明的第二罩区段(5b)。所述第一罩区段(5a)构造用于使由所述光发射装置(3)发射的激光射束(S)转向到所述光偏转装置(4)上。所述光偏转装置(4)进一步构造用于使经转向的激光射束(S)偏转，使得经偏转的激光射束(S)能够穿过所述第二罩区段(5b)出射。

技术领域

本发明涉及光发射设备和用于制造光发射设备的方法。

背景技术

基于其紧凑的大小以及其低的成本，微光电子机械(MOEMS)是传感器的、二维码扫描仪的、车辆大灯的或复印机的任意部件。因此，由EP 1 225469A2已知一种MOEMS-激光扫描仪，其中，通过可摆动的镜使激光偏转并且由此可以扫描环境区域。

因为在许多应用领域中在最小的空间上安装越来越多的传感器，所以存在对还更紧凑和更稳健的MOEMS-部件的需求。

发明内容

本发明涉及一种具有权利要求1的特征的光发射设备和一种具有权利要求9的特征的用于制造光发射设备的方法。

根据第一方面，本发明据此涉及一种MOEMS-光发射设备，其具有：衬底和布置在所述衬底上的光发射装置，所述光发射装置构造用于发射激光射束。在所述衬底上布置有可摆动的光偏转装置。此外，在所述衬底上布置有可摆动的光偏转装置。此外，在所述衬底上布置有加罩装置，所述加罩装置覆盖所述光发射装置和所述光偏转装置，其中，所述加罩装置具有反射性的第一罩区段和透明的第二罩区段。所述第一罩区段构造用于使由所述光发射装置发射的激光射束转向到所述光偏转装置上。所述光偏转装置进一步构造用于使经转向的激光射束如此偏转，使得经偏转的激光射束能够穿过所述第二罩区段出射。

“透明的”在此理解为，第二罩区段对于激光射束的波长至少部分地透明或光可穿透的。

因此，根据第二方面，本发明涉及一种用于制造光发射设备的方法，其中，在衬底上布置光发射装置并且在所述衬底上布置可摆动的光偏转装置。此外，在所述衬底上布置加罩装置，所述加罩装置覆盖所述光发射装置和所述光偏转装置。所述加罩装置具有反射性的第一罩区段和透明的第二罩区段，其中，所述第一罩区段构造用于使由所述光发射装置发射的激光射束转向到所述光偏转装置上，其中，所述光偏转装置进一步构造用于使经转向的激光射束如此偏转，使得经偏转的激光射束能够穿过所述第二罩区段出射。

优选的实施方式是相应的从属权利要求的主题。

本发明的优点

本发明提供一种特别紧凑的光发射设备，因为光发射装置和光偏转装置可以节省空间地集成到衬底中。光发射装置优选定位在可摆动的光偏转装置的直接附近，以便还进一步减小光发射设备的尺寸。优选地由塑料制成的加罩装置可以成本有利地制造并且其特征在于其稳健性。

通过加罩装置自身实现所发射的激光射束的转向，从而不需要附加的转向镜。由此省去相应的制造耗费以及用于转向镜的成本，其中，同时可以进一步减小光发射设备的尺寸。因为不再需要敏感的镜，所以可以通过将光转向装置集成到加罩装置中来保证转向的高的稳健性。

基于在晶片技术中可实现的非常小的厚度公差和调准公差，可以使光发射装置、光偏转装置和加罩装置如此相互定位，使得可以省去光发射设备的附加的光学校准或调节并且光发射设备由此对用户更友好。

根据本发明的一种优选的实施方式，罩包围空气密封地封闭的空腔，光偏转装置和光发射装置位于所述空腔中。由此可以在制造期间以及在运行中保护光发射装置和光偏转装置以防污染和损坏。