[发明专利]树脂组合物

说明书

本发明提供高敏感度、且能够得到吸水率低的固化膜的树脂组合物。树脂组合物，其包含(a)碱溶性树脂、和(b1)在酚式羟基的邻位具有下述通式(1)表示的1价基团的酰胺酚化合物及/或(b2)在羧基的邻位具有下述通式(2)表示的1价基团的芳香族酰胺酸化合物。(通式(1)中，X表示具有与通式(1)中的羰基碳直接键合的碳原子数2～20的烷基的1价有机基团或具有‑(YO)_n‑的1价有机基团。通式(2)中，U表示具有与通式(2)中的酰胺氮直接键合的碳原子数2～20的烷基的1价有机基团或具有‑(YO)_n‑的1价有机基团。Y表示碳原子数1～10的亚烷基，n表示1～20的整数。)

技术领域

本发明涉及具有碱溶性树脂和酰胺酚化合物的树脂组合物。

背景技术

由于聚酰亚胺、聚苯并噁唑等耐热性树脂具有优异的耐热性、电绝缘性，因此含有这些耐热性树脂的感光性树脂组合物被用于LSI等半导体元件的表面保护层、层间绝缘层、有机电致发光元件及有机EL显示元件的绝缘层、显示装置用TFT基板的平坦化层等中。

对半导体的可靠性的要求在提高，寻求在高温高湿环境下的可靠性，因此对于在半导体的表面保护层、层间绝缘层中使用的树脂组合物也要求低吸水性。另外，关于有机EL显示装置，由于有机EL发光材料容易因水分而遭受劣化，因此对于在有机EL显示装置的绝缘层中使用的树脂组合物也要求低吸水性。此外，近年来，出于基板的大型化、生产率提高等理由，为了缩短曝光时间，对感光性树脂组合物要求更高的敏感度。因此，强烈期望开发出能够以高敏感度进行图案化、能够得到低吸水性的固化膜的感光性树脂组合物。

因此，作为固化后的膜为低吸水的正型感光性树脂组合物，提出了下述正型感光性树脂组合物，其包含：碱溶性树脂；重氮萘醌化合物；不含酚式羟基但含羟甲基的化合物(例如，参见专利文献1)。然而，该感光性树脂组合物存在敏感度不充分的课题。因此，作为高敏感度且高分辨率的感光性树脂组合物，例如，提出了以聚酰胺树脂、感光性醌二叠氮化合物及酰胺酚化合物作为必需成分的正型感光性树脂组合物(例如，参见专利文献2)、包含碱溶性树脂、感光性重氮醌化合物及酚化合物的正型感光性树脂组合物(例如，参见专利文献3)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2004-259020号说明书

专利文献2：日本特开2001-183835号公报

专利文献3：日本特开2004-125815号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，就专利文献2～3记载的感光性树脂组合物而言，存在作为极性基团的酚式羟基在固化后残留的情况，有吸水率变高的课题。因此，本发明的课题在于提供高敏感度、且能够得到吸水率低的固化膜的树脂组合物。

用于解决课题的手段

本发明为树脂组合物，其包含(a)碱溶性树脂、和(b1)在酚式羟基的邻位具有下述通式(1)表示的1价基团的酰胺酚化合物及/或(b2)在羧基的邻位具有下述通式(2)表示的1价基团的芳香族酰胺酸化合物。

[化学式1]

(通式(1)中，X表示具有与通式(1)中的羰基碳直接键合的碳原子数2～20的烷基的1价有机基团或具有-(YO)_n-的1价有机基团。通式(2)中，U表示具有与通式(2)中的酰胺氮直接键合的碳原子数2～20的烷基的1价有机基团或具有-(YO)_n-的1价有机基团。Y表示碳原子数1～10的亚烷基，n表示1～20的整数。)

发明的效果

本发明的树脂组合物为高敏感度，根据本发明的树脂组合物，可得到吸水率低的固化膜。