[发明专利]用于制造多个压电多层器件的方法在审
| 申请号： | 201780045723.5 | 申请日： | 2017-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN109643753A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 贝恩哈德·德尔加斯特;马库斯·普夫 | 申请（专利权）人： | TDK电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L41/337 | 分类号： | H01L41/337;H01L41/083;H01L41/107;B24B31/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 丁永凡;张春水 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电多层器件 材料磨蚀 研磨 研磨剂 制造 摩擦 | ||
1.一种用于制造多个压电多层器件(1)的方法，其中所述压电多层器件(1)在没有添加研磨剂的情况下被研磨，其中通过所述压电多层器件(1)彼此摩擦进行从所述压电多层器件(1)的材料磨蚀。
2.根据上一项权利要求所述的方法，其中所述压电多层器件(1)作为生坯坯体被研磨，并且其中所述压电多层器件(1)在研磨之后被烧结。
3.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中在研磨所述压电多层器件(1)之前执行退火工艺，其中所述压电多层器件(1)经受提高的温度。
4.根据上一项权利要求所述的方法，其中所述压电多层器件(1)的硬度在退火工艺中提高。
5.根据权利要求3或4所述的方法，其中在所述退火工艺中至少部分地从所述压电多层器件(1)移除有机粘合剂的溶剂和/或软化剂。
6.根据权利要求3至5中任一项所述的方法，其中所述压电多层器件(1)在所述退火工艺中经受100℃至150℃的温度。
7.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中在滚筒中执行所述研磨，所述滚筒装载有多个所述压电多层器件(1)，其中通过调节：所述研磨过程的运行时间、所述滚筒中的所述压电多层器件(1)的数量和所述滚筒的旋转速度中的至少一项以期望的方式调节所述材料磨蚀。
8.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中所述压电多层器件(1)在研磨时被介质水包围。
9.根据上述权利要求中任一项所述的方法，其中所述压电多层器件(1)为压电变压器。
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