[发明专利]显示装置的制造方法和显示装置有效

专利信息
申请号: 201780046373.4 申请日: 2017-07-21
公开(公告)号: CN109565917B 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 塚本优人;三井精一;川户伸一;井上智;小林勇毅;越智贵志 申请(专利权)人: 夏普株式会社
主分类号: H01L51/50 分类号: H01L51/50;H01L27/32;H05B33/10;H05B33/12;H05B33/24;H05B33/26;H05B33/28;G09F9/00;G09F9/30;C23C14/04
代理公司: 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 代理人: 龙淳;池兵
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 显示装置 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种显示装置的制造方法,该显示装置包括具有显示区域的基板,该显示区域设置有多个由第一子像素、第二子像素、第三子像素和第四子像素构成的像素,所述第一子像素和所述第二子像素在第一方向上交替配置,并且所述第三子像素和所述第四子像素在所述第一方向上交替配置,由所述第一子像素和所述第二子像素构成的排和由所述第三子像素和所述第四子像素构成的排在与所述第一方向正交的第二方向上交替配置,在所述第一子像素中,第一荧光发光材料进行发光,从该第一荧光发光材料发出的光出射至外部,在所述第二子像素和所述第三子像素中,第二荧光发光材料进行发光,从该第二荧光发光材料发出的光出射至外部,在所述第四子像素中,第三发光材料进行发光,从该第三发光材料发出的光出射至外部,所述第一荧光发光材料发出具有第一峰值波长的光,所述第二荧光发光材料发出具有第二峰值波长的光,所述第三发光材料发出具有第三峰值波长的光,所述第二峰值波长大于所述第一峰值波长,所述第三峰值波长大于所述第二峰值波长,所述第二荧光发光材料的最低激发单重态的能级低于所述第一荧光发光材料的最低激发单重态的能级且高于所述第三发光材料的最低激发单重态的能级,

所述显示装置的制造方法的特征在于:

包括功能层形成工序,通过经由分别形成有与各功能层对应的具有规定的开口图案的多个掩模开口的蒸镀掩模,在所述基板上分别蒸镀与各功能层对应的蒸镀颗粒,在所述基板上形成由所述蒸镀颗粒构成的多个功能层,

所述功能层形成工序包括:

第一发光层形成工序,在所述第一子像素和所述第二子像素中共用地形成含有所述第一荧光发光材料的第一发光层;

第二发光层形成工序,在所述第二子像素和所述第三子像素中共用地形成含有所述第二荧光发光材料的第二发光层;

第三发光层形成工序,在所述第三子像素和所述第四子像素中共用地形成含有所述第三发光材料的第三发光层;和

中间层形成工序,以在所述第三子像素中所述第二发光层和所述第三发光层隔着中间层层叠的方式,在所述第三子像素中形成所述中间层,该中间层由发光层以外的至少1层的功能层构成且具有大于福斯特半径的厚度,

在所述功能层形成工序中,

以在所述第二子像素中所述第一发光层和所述第二发光层的彼此相对的相对面间的距离成为福斯特半径以下的方式,形成所述第一发光层和所述第二发光层,并且,

在所述第一发光层形成工序、所述第二发光层形成工序和所述第三发光层形成工序中的至少2个发光层形成工序中,使用所述掩模开口包含跨多个像素设置的狭缝型的掩模开口的狭缝掩模作为所述蒸镀掩模,将所述蒸镀颗粒线性蒸镀在所述基板上,

所述显示装置具有S条纹型的像素排列,在该S条纹型的像素排列中,在所述第二方向上,所述第一子像素和所述第四子像素相邻,并且所述第二子像素和所述第三子像素相邻,

在所述第一发光层形成工序中,在将所述第一方向上相邻的所述第一子像素和所述第二子像素连结的方向上线性蒸镀所述第一荧光发光材料,

在所述第二发光层形成工序中,在将所述第二方向上相邻的所述第二子像素和所述第三子像素连结的方向上线性蒸镀所述第二荧光发光材料,

在所述第三发光层形成工序中,在将所述第一方向上相邻的所述第三子像素和所述第四子像素连结的方向上线性蒸镀所述第三发光材料,

在所述至少2个发光层形成工序中,使用具有与所述基板相比面积小的狭缝掩模作为所述狭缝掩模、并且具有射出所述蒸镀颗粒的蒸镀源、且所述蒸镀掩模与所述蒸镀源的相对位置固定的掩模单元,将所述狭缝掩模和所述基板隔开一定的空隙相对配置,在对所述基板进行扫描的同时,使所述掩模单元和所述基板中的至少一者相对于另一者相对移动,从而经由所述狭缝掩模将所述蒸镀颗粒线性蒸镀在所述基板上。

2.如权利要求1所述的显示装置的制造方法,其特征在于:

在所述第一发光层形成工序至所述第三发光层形成工序中的首先进行的发光层形成工序以外的至少一个发光层形成工序中,使所述基板和所述狭缝掩模中的至少一者从首先进行的发光层形成工序中的状态起,在同一平面内相对于另一者相对旋转后,进行所述线性蒸镀。

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