[发明专利]电连接装置

说明书

本发明提供一种电连接装置，该电连接装置(10)具有多个探针(20)、与多个探针(20)的基端部(20b)相连接的探针基板(16)以及用于在多个探针(20)的顶端部(20a)被按压于被检查体时防止多个探针(20)的相邻的探针彼此间的干扰的探针支承体(18)，在该电连接装置(10)中，探针支承体(18)具有板状的引导部(30)，该板状的引导部(30)具有供探针(20)贯穿的引导孔，引导部(30)包括上方引导部(31)、下方引导部(32)以及中间引导部(33)，探针(20)通过贯穿上方引导部(31)、中间引导部(33)以及下方引导部(32)的引导孔被向被检查体引导，中间引导部(33)设为能够在与厚度方向Y正交的正交方向X上移动。

技术领域

本发明涉及一种在以集成电路等为代表的被检查体的电气检查中使用的垂直动作式探针卡等电连接装置。

背景技术

制作于半导体晶圆中的许多集成电路通常在从该晶圆切断、分离之前接受电气检查，检查其是否具有规格书所述的性能。作为这种检查使用的电连接装置，存在一种应用了多个探针的垂直动作式探针卡(例如参照专利文献1)。

在垂直动作式探针卡中，从探针基板伸长的线状的各探针经由保持于探针基板的探针支承体被向下方的被检查体引导。

探针支承体为了防止相邻的探针间的接触导致的电气短路，以控制各探针的姿态的方式构成，此外，以将各探针的顶端向被检查体的对应的电极垫引导的方式构成。

此外，在这种探针支承体1中，如图10的(a)所示，具有靠近探针基板2并在其下方与该探针基板平行地配置的板状的上方引导部3、与该上方引导部3平行地配置的下方引导部5以及配置于上方引导部3与下方引导部5之间的板状的中间引导部4。

如图10的(a)所示，在各引导部3、4以及5中，为了由线状金属材料构成的探针6而贯通地设置引导孔3a、4a以及5a。各探针6在各引导孔3a、4a以及5a中贯穿地配置。上方引导部3的引导孔3a将各探针6的上端部向探针基板2的对应的连接垫(未图示)引导。

中间引导部4和下方引导部5的各引导孔4a和5a彼此对齐，但排列于从上方引导部3的对应的引导孔3a向一个方向偏离的位置。由此，如图10的(a)所示，在上方引导部3与中间引导部4之间的各探针6形成有由弹性变形产生的弯曲部6a。此外，各探针6的从下方引导部5突出的各探针6的顶端部在中间引导部4和下方引导部5的两个引导孔4a和5a的共同作用下，向被检查体7的对应的电极垫7a垂直地定向。

为了被检查体7的电气检查，例如在使被检查体7向探针基板2移动时，通过该移动，各探针6从对应的电极垫7a受到图10的(b)中箭头8所示的上推力。各探针6在该上推力的作用下，将各探针6的顶端向探针基板2上推时，与之相伴随地，各探针6的顶端部向上方移动。

此外，各探针6的基端通过固定于探针基板2而被限制移动。因此，在各探针6的顶端部被向探针基板2上推时，如图10的(a)所示的在中间引导部4与上方引导部3之间形成于各探针6的弯曲部6a产生因如图10的(b)所示的挠曲变形引起的较大的弯曲。包括该弯曲的大小和方向的姿态以彼此相同的方式被探针支承体1控制。

因而，各探针6彼此不会电气短路，而是以其自身的弹性变形产生的适当的弹簧力被按压于对应的电极垫7a。此外，在被检查体7离开时，各探针6的顶端部的按压被解除，因此，各探针6弹性恢复为图10的(a)的形状。由此，使用垂直动作式探针卡能够重复进行被检查体7的电气检查。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平7-29838号公报

发明内容

发明要解决的问题