[发明专利]超纯水制造装置

权利要求书

1.一种超纯水制造装置，该超纯水制造装置将被加热过的超纯水供给至使用点，其具备：

一次纯水制造装置；

二次纯水制造装置，对来自该一次纯水制造装置的一次纯水进行处理来制造超纯水；

第一热交换器，用于对来自该二次纯水制造装置的超纯水进行加热，并以来自使用点的回流水作为热源；

回流水返送系统，具备对通过该第一热交换器后的该回流水进行冷却的第二热交换器，并将在该第二热交换器中被冷却过的回流水加入所述一次纯水；和

加热机构，对在该第一热交换器中被加热过的超纯水进一步进行加热；

其特征在于，

所述加热机构具备：

第三热交换器，在所述第一热交换器中被加热过的超纯水被通入该第三热交换器的被加热流体流路中；

第一循环流路，使作为传热媒介的第一媒介水在该第三热交换器的热源流体流路中循环流通；和

加热泵，对在该第一循环流路中流动的第一媒介水进行加热；

其中：

该加热泵，具备凝缩器、蒸发器、泵及膨张阀；

该凝缩器设置在所述第一循环流路上以便加热该第一媒介水；

该蒸发器设置在循环有第二媒介水的第二循环流路上；

在该第二循环流路上，设置有用于利用温排水的热对第二媒介水进行加热的第四热交换器；

在比该第四热交换器更靠上游侧的第二循环流路上设置有所述第二热交换器。

2.如权利要求1所述的超纯水制造装置，其特征在于，该超纯水制造装置设置有第五热交换器，该第五热交换器用于对在所述第三热交换器中被加热过的所述超纯水进行加热，并以蒸气作为热源。

3.如权利要求1或2所述的超纯水制造装置，其特征在于，在所述第一循环流路上设有第六热交换器，该第六热交换器用于对从所述凝缩器往第三热交换器的第一媒介水进行加热，并以蒸气作为热源。