[发明专利]同时捕捉来自多个目标的重叠信号

权利要求书

1.一种计量系统，其包括具有照明路径及收集路径的光学系统，其中至少一个检测器是在所述收集路径的光瞳平面处，其中所述光学系统在其所述收集路径的至少一个场平面处包括至少一个光学元件，所述至少一个光学元件经配置以将经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像，其中所述照明路径及所述收集路径被极化，所述照明路径包括两个垂直极化照明源，且所述收集路径包括两个垂直极化检测器，每一垂直极化检测器检测从对应极化照明生成的至少两个光瞳平面图像。

2.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述至少两个光瞳平面图像包括对应于由所述计量系统同时捕捉的至少四个目标的至少四个光瞳平面图像。

3.根据权利要求1所述的计量系统，其中所述两个垂直极化照明源中的每一者包括在所述照明路径的所述场平面中空间分离的至少两个照明源。

4.根据权利要求3所述的计量系统，其中所述至少两个照明源处于不同波长范围。

5.根据权利要求1所述的计量系统，其进一步包括经配置以在至少一个目标单元内扫描所述照明源中的至少一者的至少一个扫描仪。

6.根据权利要求1所述的计量系统，其在所述照明路径的光瞳平面处进一步包括切趾孔径。

7.根据权利要求1所述的计量系统，其在所述收集路径中的光瞳平面处进一步包括至少一个零级阻断器。

8.一种计量方法，其包括：

将计量系统的光学系统的收集路径的场平面处的经检测图像分裂成至少两个光瞳平面图像；以及

通过以下步骤来极化所述光学系统的照明路径及所述收集路径：配置所述照明路径以包括两个垂直极化照明源及配置所述收集路径以包括两个垂直极化检测器，且进一步配置所述垂直极化检测器中的每一者以检测从对应极化照明生成的至少两个光瞳平面图像。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述至少两个光瞳平面图像包括对应于由所述计量系统同时捕捉的至少四个目标的至少四个光瞳平面图像。

10.根据权利要求8所述的方法，其中所述两个垂直极化照明源处于不同波长范围。

11.根据权利要求8所述的方法，其进一步包括配置所述两个垂直极化照明源中的每一者以包括在所述照明路径的所述场平面中空间分离的至少两个照明源。

12.根据权利要求8所述的方法，其进一步包括在至少一个目标单元内扫描所述照明源中的至少一者。

13.根据权利要求8所述的方法，其进一步包括阻断所述收集路径中的光瞳平面处的零级衍射。