[发明专利]半导体芯片有效
申请号: | 201780047180.0 | 申请日: | 2017-07-11 |
公开(公告)号: | CN109564893B | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 新保宏幸 | 申请(专利权)人: | 株式会社索思未来 |
主分类号: | H01L21/82 | 分类号: | H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 高颖 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 芯片 | ||
1.一种半导体芯片,其特征在于,
所述半导体芯片具有第一块和第二块,
所述第一块包括具有纳米线FET即场效应晶体管的标准单元,所述第二块包括纳米线FET,
所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET分别具有:
沿第一方向延伸的一条或并排设置的多条纳米线;
一对焊盘,一对所述焊盘分别设在所述纳米线的所述第一方向上的两端且下表面位于比所述纳米线的下表面低的位置上,并与所述纳米线相连接;以及
栅极电极,所述栅极电极沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸,且被设为在所述纳米线的所述第一方向上的规定范围内包围所述纳米线的周围,
在所述第一块和所述第二块中,
所述纳米线在所述第二方向上的布置中心间距是规定的第一中心间距的整数倍,
所述焊盘在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。
2.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,
在所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET中的至少一个所述纳米线FET中,沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向布置有多条所述纳米线,
在所述第一块和所述第二块中,
所述纳米线在所述第三方向上的布置中心间距是规定的纳米线堆叠中心间距的整数倍。
3.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,
在所述第一块和所述第二块中,
构成所述栅极电极的栅极布线和虚设栅极布线在所述第一方向上的布置中心间距是所述第二中心间距的整数倍。
4.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,
所述标准单元在所述第二方向上的尺寸是所述第一中心间距的整数倍。
5.一种半导体芯片,其特征在于,
所述半导体芯片具有第一块和第二块,
所述第一块包括具有纳米线FET即场效应晶体管的标准单元,所述第二块包括纳米线FET,
所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET分别具有:
沿第一方向延伸的一条或并排设置的多条纳米线;
一对焊盘,一对所述焊盘分别设在所述纳米线的所述第一方向上的两端且下表面位于比所述纳米线的下表面低的位置上,并与所述纳米线相连接;以及
栅极电极,所述栅极电极沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸,且被设为在所述纳米线的所述第一方向上的规定范围内包围所述纳米线的周围,
在所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET中的至少一个所述纳米线FET中,沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向布置有多条所述纳米线,
在所述第一块和所述第二块中,
所述纳米线在所述第二方向上的布置中心间距是规定的第一中心间距的整数倍,并且,在所述第三方向上的布置中心间距是规定的纳米线堆叠中心间距的整数倍,
所述焊盘在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。
6.根据权利要求5所述的半导体芯片,其特征在于,
在所述第一块和所述第二块中,
构成所述栅极电极的栅极布线和虚设栅极布线在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。
7.根据权利要求5所述的半导体芯片,其特征在于,
所述标准单元在所述第二方向上的尺寸是所述第一中心间距的整数倍。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社索思未来,未经株式会社索思未来许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780047180.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:非晶态金属热电子晶体管
- 下一篇:半导体电容器
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造