[发明专利]半导体芯片有效

专利信息
申请号: 201780047180.0 申请日: 2017-07-11
公开(公告)号: CN109564893B 公开(公告)日: 2022-11-25
发明(设计)人: 新保宏幸 申请(专利权)人: 株式会社索思未来
主分类号: H01L21/82 分类号: H01L21/82;H01L21/822;H01L21/8238;H01L27/04;H01L27/088;H01L27/092;H01L29/06
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 高颖
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 半导体 芯片
【权利要求书】:

1.一种半导体芯片,其特征在于,

所述半导体芯片具有第一块和第二块,

所述第一块包括具有纳米线FET即场效应晶体管的标准单元,所述第二块包括纳米线FET,

所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET分别具有:

沿第一方向延伸的一条或并排设置的多条纳米线;

一对焊盘,一对所述焊盘分别设在所述纳米线的所述第一方向上的两端且下表面位于比所述纳米线的下表面低的位置上,并与所述纳米线相连接;以及

栅极电极,所述栅极电极沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸,且被设为在所述纳米线的所述第一方向上的规定范围内包围所述纳米线的周围,

在所述第一块和所述第二块中,

所述纳米线在所述第二方向上的布置中心间距是规定的第一中心间距的整数倍,

所述焊盘在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,

在所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET中的至少一个所述纳米线FET中,沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向布置有多条所述纳米线,

在所述第一块和所述第二块中,

所述纳米线在所述第三方向上的布置中心间距是规定的纳米线堆叠中心间距的整数倍。

3.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,

在所述第一块和所述第二块中,

构成所述栅极电极的栅极布线和虚设栅极布线在所述第一方向上的布置中心间距是所述第二中心间距的整数倍。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片,其特征在于,

所述标准单元在所述第二方向上的尺寸是所述第一中心间距的整数倍。

5.一种半导体芯片,其特征在于,

所述半导体芯片具有第一块和第二块,

所述第一块包括具有纳米线FET即场效应晶体管的标准单元,所述第二块包括纳米线FET,

所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET分别具有:

沿第一方向延伸的一条或并排设置的多条纳米线;

一对焊盘,一对所述焊盘分别设在所述纳米线的所述第一方向上的两端且下表面位于比所述纳米线的下表面低的位置上,并与所述纳米线相连接;以及

栅极电极,所述栅极电极沿与所述第一方向垂直的第二方向延伸,且被设为在所述纳米线的所述第一方向上的规定范围内包围所述纳米线的周围,

在所述第一块和所述第二块所包括的纳米线FET中的至少一个所述纳米线FET中,沿与所述第一方向和所述第二方向垂直的第三方向布置有多条所述纳米线,

在所述第一块和所述第二块中,

所述纳米线在所述第二方向上的布置中心间距是规定的第一中心间距的整数倍,并且,在所述第三方向上的布置中心间距是规定的纳米线堆叠中心间距的整数倍,

所述焊盘在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。

6.根据权利要求5所述的半导体芯片,其特征在于,

在所述第一块和所述第二块中,

构成所述栅极电极的栅极布线和虚设栅极布线在所述第一方向上的布置中心间距是规定的第二中心间距的整数倍。

7.根据权利要求5所述的半导体芯片,其特征在于,

所述标准单元在所述第二方向上的尺寸是所述第一中心间距的整数倍。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社索思未来,未经株式会社索思未来许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201780047180.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top