[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

提供一种高精度地检查对象物的表面形态的技术。由第一拍摄部拍摄对象物的表面的被检查区域中的作为镜面处理对象的第一区域。此外，由第二拍摄部拍摄对象物的表面的被检查区域中的不作为镜面处理对象的第二区域。检查部根据由第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查第一区域的形态，并且根据由第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查第二区域的形态。此外，在拍摄时，保持部以成为第一区域的法线相比于第二方向更接近沿第一方向的位置关系的方式来保持对象物。因此，能够高精度地掌握第一区域的镜面的状态，并且能够高精度地掌握第二区域的凹凸的形状。

技术领域

本发明涉及一种检查对象物的表面形态的技术。

背景技术

以往，已知有一种通过拍摄对象物的表面中的一部分区域，来检查该表面的形态的技术。

例如，在专利文献1中公开了一种技术，该技术通过一边以不同的照射条件朝对象物照射光，一边对该对象物进行多次拍摄，从而检查该表面的形态，其中，该对象物为整个表面具有多个微小的凹凸的状态(以下，将这种状态称为梨面状)

现有技术文献

专利文献1：日本特开2015-68668号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，对象物的整个表面未必是均匀的状态。例如，在通过锻造或铸造而形成的金属部件(例如，汽车部件)中，存在其表面包含镜面状的区域及梨面状的区域的情况。由于光的反射状态随着表面的状态而不同，因此在高精度地检查这种表面的形态的技术中，仍有改善的余地。

本发明是鉴于上述问题而完成发明的，其目的在于提供一种高精度地检查对象物的表面的形态的技术。

解决问题的技术方案

为了解决上述问题，第1实施方式的检查装置具有：保持部，将表面包含被检查区域的对象物进行保持，所述被检查区域具有作为镜面处理的对象的第一区域、以及不作为镜面处理的对象的第二区域；第一拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第一方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第一方向拍摄所述被检查区域；第二拍摄部，在从被保持在所述保持部的所述对象物观察时从第二方向向所述被检查区域照射光的状态下，从该第二方向拍摄所述被检查区域；以及检查部，根据由所述第一拍摄部获得的第一拍摄图像来检查所述第一区域的形态，并且根据由所述第二拍摄部获得的第二拍摄图像来检查所述第二区域的形态，所述保持部是以成为所述第一区域的法线相比于所述第二方向更接近沿所述第一方向的位置关系的方式，保持所述对象物。

第2实施方式的检查装置根据第1实施方式所述的检查装置，所述检查装置还具有存储部，所述存储部存储与所述第一拍摄图像对应并且在上述第一区域的形态上无异常的图像即第一参照图像、以及与所述第二拍摄图像对应并且在所述第二区域的形态上无异常的图像即第二参照图像，所述检查部通过将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较来检查所述第一区域的形态，并且通过将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较来检查所述第二区域的形态。

第3实施方式的检查装置根据第2实施方式所述的检查装置，所述检查部通过仅对所述第一区域来将所述第一拍摄图像与所述第一参照图像进行比较来检查该第一区域的形态。

第4实施方式的检查装置根据第2或3实施方式所述的检查装置，所述检查部通过仅对所述第二区域来将所述第二拍摄图像与所述第二参照图像进行比较来检查该第二区域的形态。

第5实施方式的检查装置根据第1～4实施方式中任一项所述的检查装置，所述检查装置还具有旋转部，所述旋转部一边保持所述位置关系，一边使被保持在所述保持部的所述对象物绕旋转轴旋转。