[发明专利]液体的纯化方法及多孔膜的制造方法

说明书

本发明提供能够良好地减少粘性液体中的气泡数量的粘性液体的纯化方法、以及在该纯化方法中可合适地用作过滤器的多孔膜的制造方法。使用下述过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤，所述过滤器包含利用下述制造方法得到的多孔膜、或具有包含球状孔或近球状孔相互连通而成的结构的连通孔的多孔膜，所述制造方法包括下述工序：将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；以及，除去复合膜中的粒子(B)。

技术领域

本发明涉及对粘性液体进行纯化的液体的纯化方法、以及可合适地用于该纯化方法的多孔膜的制造方法。

背景技术

以往，具有某种程度粘性的各种粘性液体被用于多种用途。就该粘性液体而言，由于搅拌或移动到配管内从而在与气体接触时容易在内部混入气体。

粘性液体中混入气体时，在粘性液体中因其粘性而难以自然脱气，从而气泡会稳定存在。

例如，粘性液体为光致抗蚀剂组合物时，光致抗蚀剂组合物中包含的气泡成为涂布不均的原因，或者成为使用光致抗蚀剂组合物所形成的经图案化的膜中的缺陷。

从这样的理由出发，需求可良好地除去光致抗蚀剂组合物等粘性液体中的气泡的方法。

作为从光致抗蚀剂组合物等粘性液体中除去气泡的方法，提出了使粘性液体通过用于除去异物、气泡的过滤器，然后供给至基板的方法(专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-135535号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1中，关于过滤器的材质、形状、开口径等没有任何具体的记载。例如，将由PTFE(聚四氟乙烯)纤维形成的无纺布这样公知的过滤器应用于气泡的去除时，根据液体的粘度、在过滤器中的通液方法的不同，有时反而会使得被处理液体中的气泡增加。

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供能够良好地减少粘性液体中的气泡数量的粘性液体的纯化方法、以及在该纯化方法中可合适地用作过滤器的多孔膜的制造方法。

用于解决课题的手段

本申请发明人发现，通过使用下述过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤，可解决上述课题，从而完成了本发明，所述过滤器包含利用下述制造方法得到的多孔膜、或具有包含球状孔或近球状孔相互连通而成的结构的连通孔的多孔膜，所述制造方法包括下述工序：将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；以及，除去复合膜中的粒子(B)。具体而言，本发明提供以下内容。

本发明的第1方式为液体的纯化方法，其包括利用过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤的工序，

过滤器含有利用下述制造方法得到的多孔膜，所述制造方法包括下述工序：

将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；

以及，除去复合膜中的粒子(B)。

本发明的第2方式为液体的纯化方法，其包括利用过滤器对粘度为0.1Pa·s以上的粘性液体进行过滤的工序，

过滤器含有下述多孔膜，所述多孔膜具有包含球状孔或近球状孔相互连通而成的结构的连通孔。

本发明的第3方式为多孔膜的制造方法，其包括下述工序：

将包含树脂成分(A)、粒子(B)及溶剂(S)的清漆涂布在基板上，形成包含树脂成分(A)和粒子(B)的复合膜；