[发明专利]激光剥离装置、激光剥离方法以及有机EL显示器制造方法

说明书

根据一种实施方式，一种激光剥离装置(1)以激光(16)对工件(10)进行照射，该工件(10)包括基板(11)和形成于该基板(11)上的分离层(12)。通过从基板(11)一侧，以激光(16)照射基板(11)与分离层(12)之间的界面，将所述分离层(12)与所述基板(11)分离。该激光剥离装置(1)包括：注入单元(22)，用于向所述工件(10)吹气(35)，并吹除工件(10)表面上的灰尘；以及集尘单元(23)，该集尘单元(23)包括开孔(52)，该开孔(52)的设置位置与激光(16)的照射位置相对应，该集尘单元用于经所述开孔(52)吸取和收集所吹除的灰尘。

技术领域

本发明涉及一种激光剥离装置、激光剥离方法以及有机EL显示器制造方法。更具体而言，本发明例如涉及一种利用激光从基板分离待分离层的激光剥离装置、激光剥离方法以及有机EL显示器制造方法。

背景技术

在一种已知激光剥离装置中，先以激光从基板一侧照射形成于基板上的分离层，然后将该分离层与基板分离。专利文献1公开了一种激光加工装置，用于将薄膜与基板分离的激光分离工艺。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本专利号5220133

发明内容

技术问题

如背景技术部分所述，在所述激光剥离装置中，先以激光从基板一侧照射形成于基板上的分离层，然后将该分离层与基板分离。然而，当基板上积灰(颗粒)时，激光将无法到达分离层被积灰遮挡的部分，使得基板的该部分无法与分离层分离，从而导致基板与分离层无法均匀分离的问题。

问题的解决方法

一种实施方式的激光剥离装置包括：注入单元，该注入单元设置为向工件吹气；以及集尘单元，该集尘单元设置为经开孔吸取和收集灰尘。

一种实施方式的激光剥离装置包括集尘单元，该集尘单元包括：供激光通过的光路空间；以及设于所述光路空间之外的排气空间。所述光路空间包括设于所述开孔周围的侧壁，而且该侧壁内形成由用于向所述光路空间供应气体的进气孔。经该进气孔供应至所述光路空间内的气体先沿所述侧壁向工件流动，然后通过该侧壁下端与工件之间的空间流入所述排气空间。

一种实施方式的激光剥离方法包括：在传送并同时以激光照射工件的同时，向该工件吹气；以及通过吸取被吹气的气体而收集灰尘。

一种实施方式的有机EL显示器制造方法包括将基板与分离层分离的步骤，该分离步骤包括：在传送并同时以激光照射工件的同时，向该工件吹气；以及通过吸取被吹气的气体而收集灰尘。

本发明的有益效果

根据一种实施方式，可提供可实现分离层与基板间均匀分离的激光剥离装置、激光剥离方法以及有机EL显示器制造方法。

附图说明

图1A为一种例示有机EL显示器的剖视图。

图1B为一种有机EL显示器例示制造工艺的说明图。

图2为用于说明激光剥离装置的剖视图。

图3为用于说明激光分离工艺的平面图和侧视图。

图4为用于说明激光分离工艺的平面图和侧视图。

图5为用于说明激光分离工艺的平面图和侧视图。

图6为用于说明激光分离工艺的剖视图。

图7为用于说明第一实施方式激光剥离装置的剖视图。

图8为用于说明第一实施方式激光剥离装置的平面图。

图9为用于说明第一实施方式激光剥离装置的底视图。