[发明专利]钨阻挡层抛光料浆组合物

权利要求书

1.一种钨阻挡层抛光料浆组合物，包括：

抛光粒子；

含有硫磺的氨基酸；和

防腐剂，

其中，所述含有硫磺的氨基酸，包括从半胱氨酸、蛋氨酸、胱氨酸、硫代半胱氨酸、牛磺酸、牛磺胆酸、N-酰基甲基牛磺酸、黎豆氨酸、胱硫醚、S-烯丙半胱氨酸、羊毛硫氨酸、乙硫氨酸、S-腺苷甲硫胺酸、谷胱甘肽、N-乙酰半胱氨酸形成的群组中选择的至少一个，

其中防腐剂包括从甘氨酸、精氨酸、丙氨酸、谷氨酸、天冬氨酸、天冬酰胺、组氨酸形成的群组中选择的至少一个，

其中所述料浆组合物用于抛光钨阻挡层和改善边缘腐蚀(EOE)的应用，

所述抛光粒子的大小是40nm至100nm的单一尺寸粒子或是2种以上的混合粒子，

所述含有硫磺的氨基酸，在所述钨阻挡层抛光料浆组合物中为0.001wt％-1wt％。

2.根据权利要求1所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述抛光粒子，包括从有机物或无机物涂层的金属氧化物，和胶状的所述金属氧化物形成的群组中选择的至少任何一个，且

所述金属氧化物，包括从二氧化硅、氧化铈、氧化锆、氧化铝、氧化钛、钛酸钡、氧化锗、氧化锰及氧化镁形成的群组中选择的至少任何一个。

3.根据权利要求1所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述抛光粒子，在所述钨阻挡层抛光料浆组合物中为1wt％-10wt％。

4.根据权利要求1所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，利用所述钨阻挡层抛光料浆组合物将钨阻挡层抛光后，在10μm/s-30μm/s的速度范围，10Hz-30Hz的速率范围以及1mg-5mg的动力范围条件下测定的钨金属膜和绝缘膜的线宽为10μm，且图案密度为30％的钨阻挡层的边缘过度侵蚀EOE值为以下。

5.根据权利要求1所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，进一步包括：从pH缓冲剂、及氧化剂形成的群组中选择的至少任何一个。

6.根据权利要求5所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述防腐剂，在所述钨阻挡层抛光料浆组合物中为0.001wt％-1wt％。

7.根据权利要求5所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述pH缓冲剂包括从磷酸铵，磷酸氢铵，磷酸二氢铵，氢氧化铵，乙酸铵，硼酸铵，草酸铵，柠檬酸二铵，柠檬酸三铵，氨基甲酸铵，二盐基柠檬酸铵，和三盐基柠檬酸铵形成的群组中选择的至少任何一个。

8.根据权利要求5所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述pH缓冲剂，在所述钨阻挡层抛光料浆组合物中为0.005wt％-0.2wt％。

9.根据权利要求5所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述氧化剂，包括从过氧化氢，脲过氧化氢，尿素，过碳酸盐，高碘酸，高碘酸盐，高氯酸，高氯酸盐，过溴酸，过溴酸盐，过硼酸，过硼酸盐，高锰酸，高锰酸盐，过硫酸盐，溴酸盐，氯酸盐，亚氯酸盐，铬酸盐，碘酸盐，碘酸，过氧化硫酸铵，过氧化苯甲酰，过氧化钙，过氧化钡，过氧化钠，和过氧化氢元素形成的群组中选择的至少任何一个。

10.根据权利要求5所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述氧化剂，在所述钨阻挡层抛光料浆组合物中为0.01wt％-5wt％。

11.根据权利要求1所述的钨阻挡层抛光料浆组合物，其中，所述钨阻挡层抛光料浆组合物的pH范围为1-5。