[发明专利]液体供给系统

说明书

提供一种液体供给系统，实现波纹管的扭转的产生的抑制。该液体供给系统包括：第一波纹管(130)，被固定于轴(150)上，随轴(150)的往返移动而伸缩；第二波纹管(200)，随轴(150)的往返移动而伸缩，与第一波纹管(130)之间形成泵室，并且，外径小于第一波纹管(130)的外径；第二波纹管(200)的一端侧相对于轴(150)和圆筒部件(161)中的一侧而被固定，第二波纹管(200)的其它端侧，以相对于轴(150)和圆筒部件(161)中的其它侧向轴向的移动被允许的状态被定位。

技术领域

本发明涉及一种包括波纹管的液体供给系统。

背景技术

为了在往返移动的轴和插通有轴的筒状部件之间形成密闭空间，目前得知使用了波纹管的技术。在这样的技术中，一般地，波纹管的一端相对于轴被固定，其他端相对于筒状部件被固定。由此，因为没有滑动的部分，存在这样的优点，即：没有滑动损耗的问题或滑动带来的发热问题。从而，例如在用于使超低温的液体循环的液体供给系统中，为了设置密封结构，波纹管被广泛使用(参照专利文献1)。

此处，轴与筒状部件相对不旋转的结构的情况，不会特别产生问题。但是，系统的结构上，有时轴和筒状部件轻微地相对旋转。此时，波纹管被扭转，会产生扭转弯曲。尤其是，波纹管的径越小，扭转弯曲越容易产生。这样，若波纹管在产生扭转弯曲的状态下伸缩，应力局部集中，恐怕波纹管的疲劳寿命变短。

专利文献1：国际公开第2012/124363号

发明内容

本发明的目的在于提供一种液体供给系统，实现抑制波纹管的扭转的产生。

为了解决上述课题本发明采用了以下方案。

即，本发明的液体供给系统，其特征在于，包括：

容器；

轴，以从所述容器的外部到内部的方式配置，并且以通过驱动源往返移动的方式构成；

筒状部件，设置于所述容器的内部，插通有所述轴；

第一波纹管，被固定于所述轴，随所述轴的往返移动而伸缩；以及

第二波纹管，随所述轴的往返移动而伸缩，并且，与所述第一波纹管之间形成泵室，并且，外径小于所述第一波纹管的外径，其中，

所述第二波纹管的一端侧相对于所述轴和所述筒状部件中的一侧而被固定，

所述第二波纹管的其它端侧以如下的状态被定位，即：相对于所述轴和所述筒状部件中的其它侧向周向的移动被允许的状态。

根据本发明，第二波纹管的一端侧相对于轴和筒状部件中的一侧而被固定，与之相对地，其他端侧以相对于轴和筒状部件中的其他侧向周向的移动被允许的状态被定位。从而，即使轴和筒状部件相对旋转，在第二波纹管上产生扭转这种情况被抑制，能够防止由第二波纹管断裂而导致的泵室的流体的泄露。

优选地，所述第二波纹管的其他端设有密封部，该密封部通过接触于所述轴和所述筒状部件中的其它侧而密封流体，并且，所述密封部的面积大于所述第二波纹管的有效面积而形成。

由此，在相对于密封部，泵室的相反侧的流体压力高于泵室内的流体压力的状态下，阀体相对于阀座而紧贴状态被维持，因此，能够得到稳定的密封性。此外，即使变为相对于密封部，泵室的相反侧的流体压力低于泵室内的流体压力的状态，密封部的接触由于压力而被解除，泵室的液体相对于密封部而流向泵室的相反侧的区域，因此，能够使压力脱离，不会对第二波纹管施加过大的压力。

优选地，包括第三波纹管，该第二波纹管随所述轴的往返移动而伸缩，并且，在所述筒状部件和所述第二波纹管之间形成密闭空间，从所述泵室输送的液体的一部分被供给至所述密闭空间内。