[发明专利]用于从宽带源产生多通道可调谐照明的系统及方法

说明书

本发明涉及一种度量系统，其包含：照明源，其用于产生照明光束；多通道光谱滤波器；聚焦元件，其用于将照明从单个光学柱引导到样本；及至少一个检测器，其用于捕获从所述样本收集的照明。所述多通道光谱滤波器包含具有两个或两个以上通道光束路径的两个或两个以上滤波通道。所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。所述多通道光学滤波器进一步包含用于将所述照明光束的至少一部分引导到至少一个选定滤波通道中以过滤所述照明光束的通道选择器。所述多通道光谱滤波器进一步包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。

相关申请案的交叉参考

本申请案根据35 U.S.C.§119(e)规定主张名叫安德鲁·V·希尔(AndrewV.Hill)、安农·马纳森(Amnon Manassen)及奥哈德·巴查尔(Ohad Bachar)的发明者的名称为“用于从宽带源产生多通道可调谐照明的系统及方法(SYSTEM AND METHOD FORGENERATING MULTI-CHANNEL TUNABLE ILLUMINATION FROM A BROADBAND SOURCE)”的2016年8月17日申请的第62/375,996号美国临时申请案的权利，所述申请案的全文以引用的方式并入本文中。

技术领域

本发明大体上涉及宽带照明源，且更特定来说，本发明涉及从单个宽带照明源产生多个照明光谱。

背景技术

可调谐光源可提供调谐成给定光谱范围内的一或多个选择波长的照明。但是，典型可调谐光源独立且精确地修改经调谐照明光束的多个光谱区域的总强度、光谱功率及/或偏振的能力是有限的。因此，可期望提供一种用于纠正缺陷(例如上述缺陷)的系统及方法。

发明内容

根据本发明的一或多个说明性实施例，揭示一种度量系统。在说明性实施例中，所述系统包含用于产生照明光束的照明源。在另一说明性实施例中，所述系统包含多通道光谱滤波器。在另一说明性实施例中，所述多通道光谱滤波器包含两个或两个以上滤波通道，其包含两个或两个以上通道光束路径。在另一说明性实施例中，所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。在另一说明性实施例中，所述多通道光谱滤波器包含通道选择器，其用于将所述照明光束的至少一部分引导到所述两个或两个以上滤波通道的至少一个选定滤波通道中以基于所述两个或两个以上光谱透射率分布的选定光谱透射率分布来过滤所述照明光束的所述至少一部分。在另一说明性实施例中，所述多通道光谱滤波器包含用于将来自所述两个或两个以上滤波通道的照明组合成单个光学柱的至少一个光束组合器。在另一说明性实施例中，所述系统包含用于将来自所述单个光学柱的照明引导到样本的聚焦元件。在另一说明性实施例中，所述系统包含用于从所述样本捕获辐射的至少一个检测器。

根据本发明的一或多个说明性实施例，揭示一种多通道光谱滤波器。在说明性实施例中，所述多通道光谱滤波器包含两个或两个以上滤波通道，其包含两个或两个以上通道光束路径。在另一说明性实施例中，所述两个或两个以上滤波通道基于两个或两个以上光谱透射率分布来过滤沿所述两个或两个以上通道光束路径传播的照明。在另一说明性实施例中，所述多通道光谱滤波器包含通道选择器，其用于将照明光束的至少一部分引导到所述两个或两个以上滤波通道的至少一个选定滤波通道中以基于所述两个或两个以上光谱透射率分布的选定光谱透射率分布来过滤所述照明光束的所述至少一部分。