[发明专利]用于获得基于碳氮共渗的氧化锆的制品的方法

权利要求书

1.用于获得成品或半成品的氧化锆基制品的方法，所述制品具有金属外观和非零的表面导电性，所述方法包括以下步骤：

-将被预成型为其成品或半成品形式的至少一个氧化锆制品放置在容纳有气体混合物的第一腔室中，该气体混合物包含第一浓度的第一气体化合物和第二浓度的第二气体化合物，其中，所述第一气体化合物基于氢和碳，所述第二气体化合物基于氢和氮；

-加热所述气体混合物直至所述第一气体化合物和所述第二气体化合物的分子分解以获得包含碳原子和氮原子的反应气氛；以及

-将所述至少一个氧化锆制品保留在所述反应气氛中，以获得碳原子和氮原子在所述至少一个氧化锆制品的外表面中的扩散，从而在所述外表面处形成化学计量的碳氮化物：ZrC_x-N_y；

-其中，在加热所述气体混合物之前，将所述至少一个氧化锆制品放置在注入有氢气的第二腔室中，并且加热所述氢气以获得所述至少一个氧化锆制品中的氧化锆的氧的朝向所述外表面的扩散和所述氧的释放。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，加热所述气体混合物进一步包括使所述至少一个氧化锆制品中的所述氧化锆的氧朝向所述外表面扩散和使所述氧释放。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一个氧化锆制品的外表面上的被转变成化学计量的碳氮化物：ZrC_x-N_y的层的厚度介于10纳米与1000纳米之间。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，所述厚度介于20纳米与200纳米之间。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二浓度大于所述第一浓度。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一浓度介于5 sccm与100 sccm之间。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二浓度介于250 sccm与5000 sccm之间。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一气体化合物是CH₄。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第二气体化合物是NH₃。

10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述气体混合物的加热通过电阻元件提供。

11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述气体混合物的加热通过等离子体提供，所述等离子体的生成通过放电、射频波和/或微波实现。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一腔室和所述第二腔室不同。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，所述第一腔室和所述第二腔室相同。