[发明专利]废气处理装置用的燃烧头及其制造方法、以及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法

说明书

本发明提供一种用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有这种燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法及维护方法。本发明提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。

技术领域

本公开涉及废气处理装置用的燃烧头(burner head)及其制造方法。另外，本公开涉及废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法。

背景技术

从半导体制造装置会排出含有硅烷气体(SiH₄)或者卤素类的气体(NF₃、ClF₃、SF₆、CHF₃、C₂F₆、CF₄)等有害可燃气体的气体，像这样的废气(处理气体)是不能直接释放到大气中的。因此，通常将这些废气导入除害装置来进行基于燃烧的氧化无害化处理。作为这种处理方法，广泛采用通过使用燃料气体在炉内形成火焰来进行废气处理的燃烧式的废气处理装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第4937886号公报

发明内容

由于像这样的废气处理装置会产生粉尘，所以需要定期的维护。

本公开是鉴于这种问题点而提出的，其课题在于，提供用于实现容易维护的废气处理装置的燃烧头及其制造方法、以及具有像这样的燃烧头的废气处理装置用的燃烧室及其制造方法和维护方法。

根据本公开，提供一种燃烧头，其通过安装于燃烧室主体的上部而构成废气处理装置用的燃烧室，该燃烧头具有：壳体，其具有下方开口的圆筒部，并设有用于以能够拆下的方式紧固于所述燃烧室主体的紧固部；燃料用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入燃料；助燃性气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入助燃性气体；处理气体用喷嘴，其用于向所述圆筒部内吹入处理气体；和引燃器，其用于点燃所述燃料和/或所述助燃性气体。

所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴优选位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。此处，位于同一平面上是指，3个喷嘴的燃烧室内周面侧的开口的一部分位于同一平面上。

优选地，在所述圆筒部的侧面设有供所述燃料用喷嘴连接的第一开口、供所述助燃性气体用喷嘴连接的第二开口和供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第一开口、所述第二开口及所述第三开口的至少一个部分位于与所述圆筒部的轴线正交的同一平面上。

优选地，在所述圆筒部的侧面，设有供所述处理气体用喷嘴连接的第三开口，所述第三开口的形状呈沿所述圆筒部的长度方向延伸的狭缝状。

所述引燃器优选能够从所述圆筒部拆下。

优选地，在所述圆筒部设有向上方开口且能够插入加热器的孔。

所述紧固部优选焊接在所述壳体。

所述燃料用喷嘴、所述助燃性气体用喷嘴及所述处理气体用喷嘴焊接在所述圆筒部。

所述圆筒部优选由厚壁管构成。

优选地，所述壳体具有所述圆筒部和嵌于所述圆筒部的圆环部，所述紧固部从所述圆环部的侧面向外侧突出。

燃烧头优选具有用于向所述圆筒部内吹入吹扫气体的吹扫气体用喷嘴。