[发明专利]压力传感器

说明书

压力传感器(1)具有受压凹部(213)与保护膜(230)。受压凹部是通过朝向沿着厚度方向的检测方向开口而构成检测空间的凹部。受压凹部具有：与面内方向平行的平面、并且是外缘部关于面内方向设于隔膜(218)的外侧的底面(214)；以及侧壁面(215)，从底面的外缘部朝向检测方向突出地设置。将底面与侧壁面覆盖的保护膜具有形成于受压凹部中的底面与侧壁面的连接部即内角部(216)的角壁部(232)。角壁部关于面内方向设于隔膜的外侧。

相关申请的相互参照

本申请基于2016年8月25日提出申请的日本专利申请号2016－164390号，此处通过参照引入其记载内容。

技术领域

本公开涉及压力传感器。

背景技术

已知有在检测部具有作为薄壁部的隔膜(Diaphragm)的压力传感器。在这种压力传感器中，若在用于形成隔膜的凹部的表面附着异物等附着物，则压力检测精度可能降低。因此，在日本特开2015－197367号公报所公开的压力传感器中，在凹部的表面设有保护膜。保护膜例如由合成树脂膜构成。

发明内容

在日本特开2015－197367号公报所公开的压力传感器中，在凹部的表面设置保护膜的情况下，在凹部中的内角部与除此以外的部分中，成膜状态可能大为不同。具体而言，例如在利用合成树脂膜形成保护膜的情况下，可能在内角部形成角壁部。这种凹部中的内角部与除此以外的部分的成膜状态的不同可能对由受压引起的隔膜的挠曲特性带来影响。

根据本公开的一个观点，压力传感器具备薄板状的隔膜。所述隔膜设于基板的厚度方向上的一部分。另外，所述隔膜设于基板的面内方向上的一部分。所述面内方向是与所述厚度方向正交的方向。所述隔膜构成为能够沿所述厚度方向挠曲变形。即，所述压力传感器构成为，通过在所述厚度方向上与所述隔膜相邻的检测空间内的流体压力作用于所述隔膜，从而产生与所述流体压力相应的电输出。

所述压力传感器具有受压凹部及保护膜。所述受压凹部是以通过朝向沿着所述厚度方向的检测方向开口而构成所述检测空间的方式形成于所述基板的凹部。所述受压凹部具有底面和侧壁面，该底面是与所述面内方向平行的平面，外缘部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧，所述侧壁面从所述底面的所述外缘部朝向所述检测方向突出地设置。所述保护膜以将所述底面及所述侧壁面覆盖的方式设置。具体而言，所述保护膜具有形成于所述受压凹部中的所述底面与所述侧壁面的连接部即内角部的角壁部。所述角壁部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧。

在上述构成中，所述受压凹部中的所述底面以及所述侧壁面被所述保护膜覆盖。由此，可抑制附着物向所述底面以及所述侧壁面的附着。此外，所述保护膜中的所述角壁部形成于所述受压凹部中的所述内角部。但是，在上述构成中，所述角壁部在所述面内方向上设于所述隔膜的外侧。因此，能够尽可能地抑制所述角壁部给所述隔膜的挠曲特性带来的影响。因此，根据上述构成，能够良好地抑制附着物在用于形成所述隔膜的所述受压凹部的表面(即所述底面以及所述侧壁面)上的附着。

另外，权利要求书所记载的各单元中的、括号内的附图标记表示该单元与后述的实施方式所记载的具体单元的对应关系的一个例子。

附图说明

图1是表示实施方式的压力传感器的概略构成的侧剖面图。

图2是图1所示的检测部的俯视图。

图3是图2的III－III剖面图。

图4是表示图3所示的检测部的构成的一变形例的侧剖面图。

图5是表示图3所示的检测部的构成的其他一变形例的侧剖面图。

图6是表示图3所示的检测部的构成的其他的另一变形例的侧剖面图。

图7是表示图3所示的检测部的构成的其他的另一变形例的侧剖面图。

具体实施方式