[发明专利]网式过滤器的制造方法及网式过滤器

权利要求书

1.一种网式过滤器的制造方法，包括：

准备可镀敷的圆筒状金属基材的工序；

在所述圆筒状金属基材的表面涂布光抗蚀剂，使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案的工序；

在所述圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成DLC覆膜的工序；

将形成在所述网式过滤器状抗蚀剂图案上的DLC覆膜、与所述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，在所述圆筒状金属基材的表面形成DLC图案，制作附带DLC图案的辊的工序；及

使用所述附带DLC图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，由此制作网式过滤器的工序，

所述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一所述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案。

2.如权利要求1所述的网式过滤器的制造方法，其中，涂布所述光抗蚀剂的金属基材由从镍、钨、铬、钛、金、银、铂、不锈钢、铁、铜、铝组成的组中选择的至少一种的材料构成。

3.如权利要求1或2所述的网式过滤器的制造方法，其中，所述DLC覆膜的厚度为0.1μm～20μm。

4.如权利要求1～3中任一项所述的网式过滤器的制造方法，其中，所述网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案是网眼以无级方式变化的无级渐变图案。

5.一种网式过滤器，是通过如下方式制造而成的网式过滤器：在可镀敷的圆筒状金属基材的表面涂布光抗蚀剂，使其曝光、显影而形成网式过滤器状抗蚀剂图案，在所述圆筒状金属基材及网式过滤器状抗蚀剂图案的表面形成DLC覆膜，将形成在所述网式过滤器状抗蚀剂图案上的DLC覆膜与所述网式过滤器状抗蚀剂图案一起剥离，使用在所述圆筒状金属基材的表面形成DLC图案而制造的附带DLC图案的辊，对可镀敷的金属进行连续镀敷，

所述网式过滤器状抗蚀剂图案是将网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案形成于同一所述圆筒状金属基材而成的网式过滤器状抗蚀剂图案，

所述网式过滤器具备网眼不同的两个以上的网式过滤部。

6.如权利要求5所述的网式过滤器，其中，涂布有所述光抗蚀剂的金属基材由从镍、钨、铬、钛、金、银、铂、不锈钢、铁、铜、铝组成的组中选择的至少一种的材料构成。

7.如权利要求5或6所述的网式过滤器，其中，所述DLC覆膜的厚度为0.1μm～20μm。

8.如权利要求5～7中任一项所述的网式过滤器，其中，所述网眼不同的两个以上的网式过滤器状抗蚀剂图案是网眼以无级方式变化的无级渐变图案。

9.一种流体流量调整机构，具有：

权利要求5～8中任一项所述的、具备网眼不同的两个以上的网式过滤部的网式过滤器；及

使所述网式过滤器滑动的滑动机构，

所述流体流量调整机构通过使所述网式过滤器滑动，从而能够以任意的网眼的网式过滤部进行流体流量的调整。

10.一种光量调整机构，具有：

权利要求第5～8中任一项所述的、具备网眼不同的两个以上的网式过滤部的网式过滤器；及

使所述网式过滤器滑动的滑动机构，

所述光量调整机构通过使所述网式过滤器滑动，从而能够以任意的网眼的网式过滤部进行光量的调整。