[发明专利]激光照射装置

权利要求书

1.一种激光照射装置，其特征在于，包括：

第一和第二浮起单元，所述第一和第二浮起单元中的每一个用于向上吹气并将板状的一工件浮起，且所述第一和第二浮起单元以一预定间隔对齐；以及

一激光照射单元，用于以激光束从所述第一浮起单元和所述第二浮起单元之间的间隙的上方照射所述工件，所述工件被浮起并从所述第一浮起单元向所述第二浮起单元传送，其中，

所述第一和第二浮起单元中的每一个均包括：

一底部；以及

一多孔板，通过一粘合层粘合至所述底部的一上表面，

所述底部包括在至少面向所述间隙的外周上向上突起的一耸起部分，所述多孔板包括设置为与所述耸起部分形状相配合的一切口部分，所述多孔板的所述切口部分与所述底部的所述耸起部分紧密贴合，

所述粘合层沿所述耸起部分的一内壁形成，其中，所述耸起部分与所述切口部分相配合，所述耸起部分仅形成于面向待由所述激光束照射的所述底部的外周上，而不形成于其他外周上。

2.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述第一和第二浮起单元中的每一个还包括容纳于所述底部内的一中间板，所述中间板平行于所述多孔板，

所述中间板内形成有分别与形成于所述多孔板内的多个第一通孔连接的多个第二通孔，以及

所述中间板将用于对自所述多孔板吹出的气体进行加压的一加压室与用于经所述多个第一和第二通孔抽气的一减压室分隔开来。

3.根据权利要求2所述的激光照射装置，其特征在于，

所述底部内形成有用于形成所述减压室的一空腔，

所述空腔的周侧形成有一沉槽，所述中间板嵌入且粘合至所述沉槽。

4.根据权利要求2所述的激光照射装置，其特征在于，所述多孔板由陶瓷制成。

5.根据权利要求4所述的激光照射装置，其特征在于，

所述中间板由金属制成，以及

所述第二通孔的直径小于所述第一通孔的直径。

6.根据权利要求5所述的激光照射装置，其特征在于，

所述第一通孔的所述直径大于1mm，

所述第二通孔的所述直径小于或等于1mm。

7.根据权利要求4所述的激光照射装置，其特征在于，所述多孔板在一纵向上分为第一板和第二板。

8.根据权利要求7所述的激光照射装置，其特征在于，

所述第一板的与所述第二板相对的一对接端面的底侧上形成有一突起部分，所述第二板的与所述第一板相对的一对接端面的顶侧上形成有一突起部分，

所述第一板和所述第二板在所述第一板的所述突起部分与所述第二板的所述突起部分之间相互粘合。

9.根据权利要求1所述的激光照射装置，其特征在于，

所述工件为上表面形成有一非晶硅膜的一基板，以及

所述激光照射装置为用于通过以所述激光束照射所述非晶硅膜以使其结晶化的准分子激光退火装置。