[发明专利]电子倍增体和光电倍增管有效
申请号: | 201780052892.1 | 申请日: | 2017-08-03 |
公开(公告)号: | CN109643631B | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 服部真也;小林浩之;杉浦银治 | 申请(专利权)人: | 浜松光子学株式会社 |
主分类号: | H01J43/24 | 分类号: | H01J43/24 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;陈明霞 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 倍增 光电倍增管 | ||
1.一种电子倍增体,其中,
具有:
沿着第一方向延伸的主体部;
第一通道,以在所述第一方向上的所述主体部的一个端面以及另一个端面开口的方式设置在所述主体部,并根据入射的电子释放二次电子;以及
第二通道,以在所述第一方向上的所述一个端面以及所述另一个端面开口的方式设置在所述主体部,并根据入射的电子释放二次电子,
所述主体部具有沿着与第一方向交叉的第二方向彼此层叠并用于形成所述第一通道和所述第二通道的第一板状构件和第二板状构件,
所述第一板状构件包括:与所述第二方向交叉的第一表面和第一背面、形成有从所述第一表面到达所述第一背面并且沿着所述第一表面和所述第一背面延伸的第一孔部的第一孔部区域、以及与所述第一孔部区域相邻的第一实心区域,
所述第二板状构件包括:与所述第二方向交叉的第二表面和第二背面、形成有从所述第二表面到达所述第二背面并且沿着所述第二表面和所述第二背面延伸的第二孔部的第二孔部区域、以及与所述第二孔部区域相邻的第二实心区域,
所述第一孔部区域沿着所述第二方向与所述第二实心区域相对,
所述第二孔部区域沿着所述第二方向与所述第一实心区域相对,
所述第一通道形成为包括所述第一孔部的内表面、和所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面,
所述第二通道形成为包括所述第二孔部的内表面、和所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面,
在所述第一板状构件,设置有第三孔部,该第三孔部从所述第一表面到达所述第一背面并从所述一个端面以连接于所述第一孔部的方式延伸,
在所述第二板状构件,设置有第四孔部,该第四孔部从所述第二表面到达所述第二背面并从所述一个端面以连接于所述第二孔部的方式延伸,
所述第三孔部和所述第四孔部沿着所述第二方向彼此重叠。
2.根据权利要求1所述的电子倍增体,其中,
所述第一板状构件包括沿着与所述第一方向和所述第二方向交叉的第三方向排列的多个所述第一孔部区域和多个所述第一实心区域,
所述第二板状构件包括沿着所述第三方向排列的多个所述第二孔部区域和多个所述第二实心区域。
3.根据权利要求1或2所述的电子倍增体,其中,
所述主体部具有多个所述第一板状构件和多个所述第二板状构件,
所述第一板状构件和所述第二板状构件沿着所述第二方向交替层叠。
4.根据权利要求1或2所述的电子倍增体,其中,
所述第一孔部和所述第二孔部分别包括沿着所述第一方向延伸的第一部分和沿着与所述第一方向交叉的方向延伸的第二部分。
5.根据权利要求3所述的电子倍增体,其中,
所述第一孔部和所述第二孔部分别包括沿着所述第一方向延伸的第一部分和沿着与所述第一方向交叉的方向延伸的第二部分。
6.根据权利要求1或2所述的电子倍增体,其中,
在所述第一孔部的内表面、所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面、所述第二孔部的内表面、以及所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面上,依次形成有电阻层和二次电子倍增层。
7.根据权利要求3所述的电子倍增体,其中,
在所述第一孔部的内表面、所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面、所述第二孔部的内表面、以及所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面上,依次形成有电阻层和二次电子倍增层。
8.根据权利要求4所述的电子倍增体,其中,
在所述第一孔部的内表面、所述第二实心区域中的面向所述第一孔部内的面、所述第二孔部的内表面、以及所述第一实心区域中的面向所述第二孔部内的面上,依次形成有电阻层和二次电子倍增层。
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