[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

规定的光学系统，将入射的规定的光分割为两束光，能够将一束光作为测量光照射到被测量物上，且能够将另一束光作为参照光照射到参照面，并且能够将它们再次合成并射出；

第一照射单元，能够射出入射到所述规定的光学系统的第一输入输出部的、包含规定的偏振光的第一光；

第二照射单元，能够射出入射到所述规定的光学系统的第二输入输出部的、包含规定的偏振光的第二光；

第一拍摄单元，能够入射通过向所述规定的光学系统的所述第一输入输出部入射所述第一光而从该第一输入输出部射出的所述第一光涉及的输出光；

第二拍摄单元，能够入射通过向所述规定的光学系统的所述第二输入输出部入射所述第二光而从该第二输入输出部射出的所述第二光涉及的输出光；以及

图像处理单元，能够基于由所述第一拍摄单元以及所述第二拍摄单元拍摄并获取的干涉条纹图像，执行所述被测量物的三维测量。

2.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，

所述规定的光学系统

是以下光学系统：将入射的规定的光分割为偏振方向相互正交的两束偏振光，能够将一束偏振光作为所述测量光照射到所述被测量物上，且将另一束偏振光作为所述参照光照射到所述参照面，并且将它们再次合成并射出，

并且是以下光学系统：

能够将从所述第一输入输出部入射的所述第一光分割为包括具有第一偏振方向的偏振光的所述参照光和包括具有第二偏振方向的偏振光的所述测量光，

能够将从所述第二输入输出部入射的所述第二光分割为包括具有所述第二偏振方向的偏振光的所述参照光和包括具有所述第一偏振方向的偏振光的所述测量光。

3.根据权利要求1或2所述的三维测量装置，其特征在于，包括：

第一导光单元，使从所述第一照射单元射出的第一光的至少一部分向所述第一输入输出部入射，并且使从所述第一输入输出部射出的所述第一光涉及的输出光的至少一部分向所述第一拍摄单元入射；以及

第二导光单元，使从所述第二照射单元射出的第二光的至少一部分向所述第二输入输出部入射，并且使从所述第二输入输出部射出的第二光涉及的输出光的至少一部分向所述第二拍摄单元入射。

4.根据权利要求3所述的三维测量装置，其特征在于，

所述照射单元包括光隔离器，所述光隔离器仅透过从所述照射单元自身所具有的规定的发光部射出的一个方向的光，并且截断相反方向的光。