[发明专利]静电致动的设备

权利要求书

1.一种静电致动的设备(100)，包括至少一个：

-第一腔室(110)：所述第一腔室(110)包括第一主流体通道(111)；

所述第一主流体通道(111)向外开口；

-主分隔壁(200)：所述主分隔壁(200)包括第一主表面(210)、第二主表面(220)和多个第二主流体通道(230)；所述主分隔壁(200)的第二主表面(220)至少部分地限定所述第一腔室(110)；

-电极腔室(500)：所述电极腔室(500)被限定为邻近所述第一主表面(210)；

-可变形电极(600)：所述可变形电极(600)包括第一可变形电极表面、第二可变形电极表面；所述可变形电极(600)被布置在所述电极腔室(500)中，以便形成第一电极腔室(615)和第二电极腔室(625)；

-电极；所述电极被配置为与所述可变形电极(600)协作，以便在至少第一位置(691)和第二位置(692)之间致动所述可变形电极(600)；

所述第一电极腔室(615)被包括在所述第一可变形电极表面和所述第一主表面(210)之间，并且当在至少第一位置(691)和所述第二位置(692)之间致动所述可变形电极时，所述第一电极腔室(615)经由多个第二主流体通道(240)而与所述第一腔室(110)流体连通。

2.根据权利要求1所述的静电致动的设备(100)，包括至少一个：

-第二腔室(120)：所述第二腔室(120)包括第一副流体通道(121)；

所述第一副流体通道(121)向外开口；

-副分隔壁(300)：所述副分隔壁(300)包括第一副表面(310)、第二副表面(320)和一组第二副流体通道(330)；所述第一副表面(310)面向所述第一主表面(210)，所述副分隔壁(300)至少部分地限定所述第二腔室(120)；

所述第二电极腔室(625)被包括在所述第二可变形电极表面和所述第一副表面(310)之间，并且当在至少第一位置(691)和所述第二位置(692)之间致动所述可变形电极时，所述第二可变形电极腔室(625)经由多个第二副流体通道(330)而与所述第二腔室(120)流体连通。

3.根据权利要求1至2中任一项所述的静电致动的设备(100)，其中，所述电极腔室(500)的尺寸和/或所述主分隔壁(200)与所述副分隔壁(300)之间的壁距离(g)小于600μm。

4.根据权利要求3所述的静电致动的设备(100)，其中，所述主分隔壁(200)与所述副分隔壁(300)之间的壁距离(g)变化。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的静电致动的设备(100)，其中，所述可变形电极包括可变形介电层(660)和至少一个导电部分。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的静电致动的设备(100)，其中，所述主分隔壁(200)包括主分隔壁表面区域(290)和主导电焊盘(270)；所述主导电焊盘(270)包括具有主要的主表面区域(272)的主要的主导电焊盘(271)和具有辅助的主表面区域(274)的至少一个辅助的主导电焊盘(273)；所述主要的主导电焊盘(271)和所述至少一个辅助的主导电焊盘(273)彼此电气绝缘。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的静电致动的设备(100)，其中，所述主分隔壁(200)包括第一绝缘层(206)，其被配置为使所述主分隔壁(200)的主导电焊盘(270)与所述可变形电极(600)的至少一个导电部分绝缘。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的静电致动的设备(100)，其中，所述主要的主导电焊盘和所述辅助的主导电焊盘之间和/或所述辅助的主导电焊盘与另一个之间的焊盘间隔(s)在10μm和1mm之间。