[发明专利]用于飞行时间测量的光学传感器模块和用于制造光学传感器模块的方法

权利要求书

1.一种用于飞行时间测量的光学传感器模块，具有布置在载体（CA）中或载体（CA）上的光发射器（OE）、主检测器（MD）和参考检测器（RD），还包括：

- 不透明外壳，具有由光屏障（LB）分隔开的第一腔室（C1）和第二腔室（C2），并且具有盖部分（CS）；其中，所述外壳布置在所述载体（CA）上，使得

-光发射器（OE）位于所述第一腔室（C1）内部，主检测器（MD）位于所述第二腔室（C2）内部，参考检测器（RD）位于所述第一腔室（C1）外部，并且

- 所述盖部分（CS）的主表面（MS）的位置与所述载体（CA）相对；并且其中

- 光发射器（OE）被布置和配置成通过所述盖部分（CS）中的第一孔（A1）发射光，并且主检测器（MD）被布置和配置成检测通过所述盖部分（CS）中的第二孔（A2）进入所述第二腔室（C2）的光，并且

- 参考路径（RP）建立在所述光学传感器模块内部的光发射器（OE）和参考检测器（RD）之间，并且由所述盖部分（CS）的主表面（MS）和所述载体（CA）限制。

2.根据权利要求1所述的光学传感器模块，其中，所述外壳、光发射器（OE）和参考检测器（RD）布置成使得由所述光发射器（OE）沿着所述参考路径（RP）发射的光的至少一部分到达所述参考检测器（RD）。

3.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中

- 所述主检测器（MD）和/或参考检测器（RD）包括单光子雪崩二极管SPAD或SPAD的阵列，和/或

- 所述光发射器（OE）包括垂直腔表面发射激光器VCSEL或垂直外腔表面发射激光器VECSEL，其被配置成发射光。

4.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中

- 所述参考检测器（RD）和所述主检测器（MD）被组合成单个的检测器，或

- 所述参考检测器（RD）和所述主检测器（MD）被实现为单独的检测器。

5.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中

- 所述光发射器（OE）的前侧（FS）面向所述盖部分（CS）的主表面（MS）并且所述光发射器（OE）的后侧（BS）面向所述载体（CA），

- 所述参考检测器（RD）布置在所述光发射器（OE）的后侧（BS）的下方，并且

- 由所述光发射器（OE）发射的光的一部分是经由所述光发射器（OE）的后侧（BS）发射的。

6.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中，所述参考路径至少部分地在载体（CA）内部延伸，使得光发射器（OE）沿着参考路径（RP）发射的光朝向参考检测器（RD）行进通过所述载体（CA）。

7.根据权利要求6所述的光学传感器模块，其中，所述载体（CA）包括引导结构（GS）以沿着参考路径（RP）在载体（CA）内部引导光。

8.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中，参考路径（RP）至少部分地延伸通过布置在所述盖部分（CS）和载体（CA）之间的波导（WG）。

9.根据权利要求1或2所述的光学传感器模块，其中，所述光屏障（LB）被设计为光功率限制器，该光功率限制器限制参考路径（RP），使得光发射器（OE）沿着参考路径（RP）并朝向参考检测器（RD）发射的光在经过所述光屏障（LB）时被衰减。

10.根据权利要求9所述的光学传感器模块，其中

- 所述光屏障（LB）包括作为光功率限制器的间隙并且将该间隙限制在所述盖部分（CS）和载体（CA）之间，和/或

- 所述光屏障（LB）包括作为光功率限制器的曲折结构，其具有一组叉指（IF），其中所述一组叉指（IF）包括至少一个连接到外壳的指部和至少一个连接到载体（CA）的指部。