[发明专利]薄膜电容器以及薄膜电容器的制造方法

说明书

本发明提供一种薄膜电容器以及薄膜电容器的制造方法，薄膜电容器具备：第1薄膜以及第2薄膜，以相互重叠的状态被卷绕；第1蒸镀电极以及第2蒸镀电极，通过金属的蒸镀而形成，在第2蒸镀电极，设置在其宽度方向上横切的宽度方向狭缝部和被该宽度方向狭缝部分割的分割电极，在第2蒸镀电极的宽度方向上从有效电极区域偏离的非有效电极区域设置沿第2蒸镀电极的长度方向延伸的长度方向狭缝部，在各分割电极设置：第1熔丝部，架设于长度方向狭缝部；以及第2熔丝部，架设于宽度方向狭缝部，并且与第1熔丝部相比能够以更小的电流熔断。

技术领域

本发明涉及薄膜电容器以及薄膜电容器的制造方法。

背景技术

以往，已知有将通过铝等金属的蒸镀在表面形成有蒸镀电极的两张电介质膜以重叠的状态进行卷绕而成的薄膜电容器。在具有这样的蒸镀电极的薄膜电容器中，通过在蒸镀电极的一部分形成成为熔丝图案的电流通路的狭窄部分，在电介质膜产生绝缘破坏的情况下，能够使熔丝图案飞散来防止永久短路。

例如，在专利文献1中记载了在采用两个电容器串联连接的构造的薄膜电容器中，在两个电容器之间形成有熔丝图案的薄膜电容器。

在专利文献1的薄膜电容器中，在上侧的薄膜的上表面，在其薄膜宽度方向的中央部保留沿卷绕方向延伸的宽幅的中央绝缘边缘部，在该中央绝缘边缘部的左右蒸镀共用电极。另一方面，在下侧的薄膜的上表面，蒸镀由在其薄膜宽度方向的中央部沿卷绕方向延伸的窄幅的卷绕方向绝缘边缘部、和在卷绕方向上每隔给定间隔设置并在薄膜宽度方向上延伸的宽度方向绝缘边缘部划分的多个部分电极。而且，沿薄膜宽度方向排列的两个部分电极彼此用熔丝图案连接。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-067793号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在薄膜电容器的制造过程中，蒸镀电极例如使用真空蒸镀装置蒸镀形成在薄膜上。在真空蒸镀装置中，成为蒸镀电极的金属从蒸镀器向薄膜喷雾，但由于该金属为高温，因此需要进行冷却，使得薄膜不会劣化。因此，在真空蒸镀装置中，从开卷机送出的薄膜被送至冷却辊，在与冷却辊接触而被冷却的状态的薄膜上进行金属的蒸镀。此时，冷却辊和薄膜带有正负电，使得冷却辊与薄膜容易密合。

形成有蒸镀电极的薄膜从冷却辊剥离，最终被卷取机卷取，但在从冷却辊剥离时，在薄膜上产生剥离带电。由于蒸镀电极与位于冷却辊与卷取机之间的金属制的中间辊接触，因此通过剥离带电而蓄积在薄膜中的电荷会向中间辊侧放电。在该剥离放电时，在蒸镀电极中电流流过熔丝图案，担心由于该电流而在熔丝图案中产生裂纹(微裂纹)。

例如，在专利文献1的薄膜电容器中，在通过剥离带电而电荷蓄积在由熔丝图案连接的沿薄膜宽度方向排列的两个部分电极的状态下，如果任意一个部分电极先与中间辊接触，则另一个部分电极的电荷通过熔丝图案向一个部分电极移动而向中间辊放电。此时，由于流过熔丝图案的电流，在熔丝图案中可能产生裂纹。

因此，本发明的目的在于，在薄膜电容器的制造过程中，抑制在为了针对薄膜的绝缘破坏的自我保护而设置于蒸镀电极的熔丝部中产生裂纹。

用于解决课题的手段