[发明专利]色度共焦计量的速度增强

权利要求书

1.一种光学设备，其包括：

白光源，其发射白光；

多个透镜，其包括光束分光器和折射透镜，其中所述多个透镜的折射率改变来自所述白光源的所述白光的每一波长的焦距，其中所述白光的所述波长中的每一者聚焦于距所述多个透镜不同的距离处，且其中所述光束分光器经配置以将所述白光从所述白光源引导至所述折射透镜；

针孔孔口，其中所述折射透镜沿着所述光束分光器和所述针孔孔口之间的所述白光的路径被安置；

检测器，其接收来自于所述光束分光器的所述白光；

传感器主体，其包含多个传感器，其中所述传感器安置于所述传感器主体中成多个行和列，所述行和所述列中的每一者具有所述传感器中的至少两个；以及

多个光纤，其将所述白光源和所述检测器连接到所述多个传感器，其中所述光纤沿着所述白光的所述路径安置于所述传感器和所述针孔孔口之间。

2.根据权利要求1所述的光学设备，其进一步包括与所述检测器成电子通信的控制器，其中所述控制器经配置以使用色度共焦技术提供关于晶片的高度数据。

3.根据权利要求1所述的光学设备，其进一步包括致动器，所述致动器经配置以相对于彼此扫描所述传感器主体和反射所述白光的晶片。

4.根据权利要求3所述的光学设备，其中行和所述列中的所述传感器布置成线，且其中所述传感器主体相对于所述晶片的所述扫描是在不平行于所述线中的任一者的方向上。

5.根据权利要求4所述的光学设备，其中所述传感器主体相对于所述晶片的所述扫描的所述方向相对于所述线中的至少一者成45°角。

6.根据权利要求1所述的光学设备，其进一步包括经配置以保持反射所述白光的晶片的卡盘。

7.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述检测器是具有光谱色散元件的CMOS图像传感器或CCD图像传感器。

8.根据权利要求7所述的光学设备，其中所述光谱色散元件包含光栅。

9.根据权利要求1所述的光学设备，其中所述针孔孔口是所述光纤的部分。

10.一种光学测量方法，其包括：

通过包含光束分光器和折射透镜的多个透镜将白光引导于晶片处，其中所述多个透镜的折射率改变所述白光的每一波长的焦距，且其中所述白光的所述波长中的每一者聚焦于距所述多个透镜不同的距离处；

在传感器主体中的多个传感器处接收由所述晶片反射的所述白光的一部分，其中所述传感器安置于所述传感器主体中成多个行和列，所述行和所述列中的每一者具有所述传感器中的至少两个；

通过多个光纤发射在所述多个传感器处接受的所述白光的所述部分；

将所述白光的所述部分从所述多个光纤投射至针孔孔口；

将所述白光的所述部分从所述针孔孔口投射至所述折射透镜；

将所述白光的所述部分从所述折射透镜投射到所述光束分光器；

将白光的所述部分从所述光束分光器投射到检测器；以及

使用所述检测器和控制器且使用色度共焦技术确定关于所述晶片的高度数据。

11.根据权利要求10所述的光学测量方法，其进一步包括相对于彼此扫描所述晶片和所述传感器主体。

12.根据权利要求11所述的光学测量方法，其中所述行和所述列中的所述传感器成线，且其中所述传感器主体相对于所述晶片的所述扫描是在不平行于所述线中的任一者的方向上。

13.根据权利要求12所述的光学测量方法，其中所述传感器主体相对于所述晶片的所述扫描的所述方向相对于所述线中的至少一者成45°角。