[发明专利]数字光路长度调制系统

权利要求书

1.一种调节光路长度的系统，包括数字光路长度调制器，所述数字光路长度调制器包括：

偏振调制器，用于接收偏振光并调制一些或全部所述偏振光的偏振；

光路长度扩展器OPLE，具有入射表面和出射表面，以引导进入所述OPLE的具有第一偏振的光通过所述入射表面，并沿着第一光路通过所述OPLE，以通过所述出射表面射出，且引导进入所述OPLE的具有第二偏振的光通过所述入射表面，并沿第二光路通过所述OPLE，以通过所述出射表面射出，通过所述OPLE的所述第二光路的光路长度是通过所述OPLE的所述第一光路长度的两倍或更多倍；

所述OPLE包括偏振敏感反射元件，其反射具有所述第二偏振的光；以及

所述OPLE的表面上的遮光线，其沿着在所述OPLE的所述表面上由所述偏振敏感反射元件形成的线，所述遮光线用以阻挡所述光。

2.根据权利要求1所述的系统，其还包括：

所述OPLE在所述入射表面和所述出射表面之间具有边缘；以及

所述OPLE的所述边缘上的边缘遮光体，以防止影响所述OPLE的所述边缘的光射出或被反射。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述遮光线位于以下中的一个或多个上：所述OPLE的入射表面，所述OPLE的出射表面上，以及配对的OPLE的中间中。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述遮光线由以下中的一个制成：金属、薄膜黑碳和偏振器材料。

5.根据权利要求1所述的系统，其还包括：

第二偏振调制器。

6.根据权利要求5所述的系统，其中所述第二偏振调制器位于所述OPLE的出射表面上，并且所述偏振调制器和所述第二偏振调制器各自选择性地旋转所述光。

7.根据权利要求6所述的系统，其还包括：

在所述第二偏振调制器之后的偏振滤光器，以去除具有特定偏振的光。

8.根据权利要求1所述的系统，其还包括：

包括第一板和第二板的所述OPLE；以及

双折射波片，其在所述OPLE的所述第一板和所述OPLE的所述第二板之间。

9.根据权利要求8所述的系统，其中所述波片被调谐到特定频率。

10.根据权利要求9所述的系统，其还包括：

第二波片，其被调谐到与所述双折射波片的所述特定频率不同的频率，其中所述第二波片的位置选自：偏振调制器之前或所述偏振调制器之后。

11.根据权利要求1所述的系统，其中所述OPLE是圆形OPLE，其包括多个同心偏振敏感反射元件。

12.根据权利要求11所述的系统，其中所述圆形OPLE包括从多个堆叠的锥体切割的圆锥形部分，所述多个堆叠的锥体中的每一个具有覆盖有偏振敏感反射材料的外部，以形成所述同心偏振敏感反射元件。

13.根据权利要求1所述的系统，其中所述OPLE还包括：

多个成角度的偏振敏感反射元件，其在所述OPLE的所述入射表面上反射具有第二偏振形成线的所述光，所述线形成多个矩形区域；

覆盖交替的矩形区域的条纹，使得具有所述第一偏振的图像元素是位移的具有所述第二偏振的图像元素。

14.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统用于在多个深度处投射图案，用于在多个层处进行光学曝光，以用于以下一个或多个：蚀刻和打印。

15.根据权利要求1所述的系统，其中所述系统用于在两个焦平面投射光，所述光用作光学镊子。