[发明专利]电扫描器及反射镜单元

说明书

电扫描器(1)具有：反射镜(2)，其将激光反射而偏转；轴部(14)，其以旋转轴(6)为中心进行旋转；装配部(3)，其对反射镜(2)进行固定，并且形成将轴部(14)的一端部插入的第1孔(3b)而被固定于轴部(14)；第1轴承(12)，其将轴部(14)能够以旋转轴(6)为中心旋转地支撑；以及第2轴承(13)，其设置在隔着第1轴承(12)而与反射镜(2)的相反侧，将轴部(14)能够以旋转轴(6)为中心旋转地支撑。在第1轴承(12)的内圈(12a)的内侧嵌入有装配部(3)。

技术领域

本发明涉及通过电动机使反射镜的角度变化而对激光进行扫描的电扫描器及反射镜单元。

背景技术

以往，为了在激光开孔加工中对激光进行扫描而使用电扫描器。如专利文献1所示，电扫描器具有：反射镜，其也被称为电控反射镜；以及电动机，其使反射镜旋转。

反射镜粘接于反射镜装配件。反射镜装配件使用固定部件和固定螺钉，能够装卸地固定于作为电动机的轴的轴部。即，反射镜经由反射镜装配件而固定于电动机的轴部。另外，电动机具有将轴部能够旋转地支撑的轴承。轴承在与反射镜装配隔开距离的位置处将轴部能够旋转地支撑。

反射镜通过固定于电动机的轴部，从而能够进行旋转驱动。通过旋转驱动而使反射镜的角度变化，由此激光的反射角度变化。通过激光的反射角度的变化，对激光进行扫描。

专利文献1：日本特开2002－6255号公报

发明内容

在诸如上述结构的电扫描器中，反射镜的重心及反射镜装配件的重心如果从轴部的旋转轴偏离，则有时会发生反射镜在与轴部的旋转轴垂直的方向振动的所谓面倾斜振动。如果面倾斜振动的振幅变大，则激光的扫描精度降低。

面倾斜振动是在与反射镜最接近的位置处以支撑轴部的轴承为支点而发生的振动。因此，从对轴部进行支撑的轴承至反射镜的前端为止的距离越大，则面倾斜振动的振幅越容易变大。另外，在与轴承相比成为反射镜侧的部分中没有被轴承直接支撑的部分的重量越重，则面倾斜振动的振幅越容易变大。此外，在上述结构的电扫描器中，在与轴承相比成为反射镜侧的部分中没有被轴承直接支撑的部分中包含有反射镜装配件和反射镜。

本发明就是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，得到能够实现面倾斜振动的振幅的抑制的电扫描器。

为了解决上述的课题并达到目的，本发明所涉及的电扫描器具有：反射镜，其将激光反射而偏转；轴部，其以旋转轴为中心进行旋转；装配部，其对反射镜进行固定，并且形成将轴部的一端部插入的第1孔而被固定于轴部；第1轴承，其将轴部能够以旋转轴为中心旋转地支撑；以及第2轴承，其设置在隔着第1轴承而与反射镜的相反侧，将轴部能够以旋转轴为中心旋转地支撑。在第1轴承的内圈的内侧，嵌入有装配部。

发明的效果

根据本发明所涉及的电扫描器，具有能够实现面倾斜振动的振幅的抑制这样的效果。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式1所涉及的电扫描器的外观的正视图。

图2是表示实施方式1所涉及的电扫描器的外观的俯视图。

图3是通过图2所示的III－III线将电扫描器切断后的剖视图。

图4是通过图1所示的IV－IV线将电扫描器切断后的剖视图。

图5是实施方式1中的装配部的正视图。

图6是实施方式1中的装配部的俯视图。

图7是实施方式1中的装配部的侧视图。

图8是实施方式1中的固定件的正视图。

图9是实施方式1中的固定件的俯视图。

图10是实施方式1中的固定件的侧视图。