[发明专利]照明装置、曝光装置以及物品的制造方法

说明书

提供一种照明装置，用来自光源的光照明被照明面，其特征在于具有：光学系统，在与所述被照明面光学共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面光学共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统可更换地配置于所述光的光路，包括形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成在所述第1方向具有第1长度、在所述第2方向具有第2长度的第1照明区域，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和所述第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式，形成在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度、在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度的第2照明区域。

技术领域

本发明涉及照明装置、曝光装置以及物品的制造方法。

背景技术

作为制造液晶显示器装置、等离子体显示器装置等平板显示器装置的TFT(ThinFilm Transistor，薄膜晶体管)的面板的装置，使用曝光装置(参照专利文献1)。在这样的曝光装置中，将掩模的图案经由投影光学系统转印到载置台上的基板。投影光学系统例如由包括凸面反射镜、凹面反射镜并且在轴外的圆弧区域形成良像区域的反射光学系统构成。

近年来，平板显示器装置的面板的大型化得到发展，例如，在对第8代的基板(纵2200mm×横2400mm)进行曝光的情况下，根据其曝光次数，每1镜头的曝光区域发生变化。例如，在将上述基板在纵向上2分割并在横向上2分割而以4个镜头曝光的情况下，每1镜头的曝光区域成为纵1100mm×横1200mm。另外，在将上述基板在纵向上2分割并在横向上3分割而以6个镜头曝光的情况下，每1镜头的曝光区域成为纵1100mm×横800mm。

在曝光装置中，不仅要求曝光区域的扩大，还要求吞吐量的提高。在扩大曝光区域的情况下，当设为对该曝光区域整体提供的每单位时间的能量相同时，照度降低，所以吞吐量下降。因此，要求通过光源的输出提高、采用多个灯、照明效率的提高，不降低照度(即不使吞吐量下降)地曝光。

另外，提出了在曝光区域发生变化的情况下，通过根据该曝光区域切换光学积分器，抑制照明效率的降低的技术(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-306618号公报

专利文献2：日本特开平3-165023号公报

发明内容

然而，在专利文献2中未公开用于对于如专利文献1公开的圆弧状的曝光区域在该曝光区域发生变化的情况下抑制照明效率的降低的具体的方法。

本发明提供有利于在被照明面中对圆弧状的区域进行照明的照明装置。

为了达成上述目的，作为本发明的一个侧面的照明装置是用来自光源的光对被照明面进行照明的照明装置，其特征在于，具有：光学系统，在与所述被照明面在光学上共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面在光学上共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统包括以可更换的方式配置于所述光的光路、形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成第1照明区域，该第1照明区域在所述第1方向上具有第1长度，在所述第2方向上具有第2长度，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式形成所述第2照明区域，该第2照明区域在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度，在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度。

根据本发明，例如能够提供有利于在被照明面中对圆弧状的区域进行照明的照明装置。