[发明专利]使用光学显微镜产生样本的三维信息的方法

权利要求书

1.一种使用光学显微镜产生样本的三维信息的方法，所述方法包括：

按经预先确定的步骤变更所述样本与所述光学显微镜的物镜之间的距离；

在每一经预先确定的步骤处捕获图像，其中所述样本的第一表面及所述样本的第二表面在经捕获图像中的每一者的视场内；

确定每一经捕获图像中的每一像素的特性值，其中每一像素的所述特性值选自由强度、对比度及条纹对比度构成的群组；

针对每一经捕获图像确定跨所述经捕获图像中的像素的第一部分的最大特性值；

比较每一经捕获图像的所述最大特性值以确定每一经预先确定的步骤处是否存在所述样本的表面；

确定所述样本的凸块的顶点的z位置；

基于每一经捕获图像的最大特性值确定所述样本的第一表面的z位置；及

基于所述顶点的z位置和所述第一表面的z位置确定所述凸块的所述顶点与所述第一表面之间的第一距离，其中所述凸块是金属凸块。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学显微镜包含载物台，其中所述样本由所述载物台支撑，其中所述光学显微镜经调适以与计算机系统通信，其中所述计算机系统包含经调适以存储每一经捕获图像的存储器装置，并且其中所述光学显微镜选自由共焦显微镜、结构化照明显微镜及干涉仪构成的群组。

3.根据权利要求1所述的方法，其中确定所述样本的所述凸块的所述顶点的所述z位置包括：

确定在跨所有经捕获图像的x-y像素位置的第二部分内的每一x-y像素位置的最大特性值，其中x-y像素位置的所述第二部分包含在每一经捕获图像中所包含的至少一些所述x-y像素位置；

确定所述经捕获图像的子集，其中仅包含x-y像素位置最大特性值的经捕获图像包含于所述子集中；及

确定在所述经捕获图像子集内的所有经捕获图像当中，第一经捕获图像相较于所述经捕获图像子集内的所有其它经捕获图像聚焦在最高z位置上，其中所述最高z位置是所述样本的所述凸块的所述顶点的所述z位置。

4.根据权利要求1所述的方法，其中像素的所述第一部分包含在所述经捕获图像中所包含的所有像素。

5.根据权利要求1所述的方法，其中像素的所述第一部分包含少于在所述经捕获图像中所包含的所有像素。

6.根据权利要求3所述的方法，其中像素的所述第二部分包含在所述经捕获图像中所包含的所有像素。

7.根据权利要求3所述的方法，其中像素的所述第二部分包含少于在所述经捕获图像中所包含的所有像素。

8.根据权利要求1所述的方法，其中像素的所述第一部分并未接收从所述金属凸块反射的光。

9.根据权利要求3所述的方法，其中像素的所述第二部分接收从所述金属凸块的所述顶点反射的光。

10.根据权利要求3所述的方法，其中像素的所述第一部分与像素的所述第二部分之间的空间关系是固定的。

11.根据权利要求3所述的方法，其中像素的所述第二部分是连续的且以所述凸块的所述顶点为中心。

12.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一表面是钝化层的顶表面。