[发明专利]垂直混合自旋扭矩转换(STT)和自旋轨道扭矩(SOT)磁随机存取存储器的共享源极线架构在审

专利信息
申请号: 201780057487.9 申请日: 2017-08-30
公开(公告)号: CN109791940A 公开(公告)日: 2019-05-21
发明(设计)人: S·李;H·蔡 申请(专利权)人: 西部数据技术公司
主分类号: H01L27/22 分类号: H01L27/22
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 赵志刚;赵蓉民
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 磁随机存取存储器 自旋 磁化 自旋扭矩转换 共享源极线 架构 磁隧道结 垂直 衬底 多层 铁磁 轨道 高密度存储器 平面取向 热稳定性 对齐 编程
【权利要求书】:

1.一种混合自旋扭矩转换自旋轨道扭矩(STT-SOT)存储器设备,包括:

字线;

栅极电极,所述栅极电极耦接到绝缘材料和所述字线;

源极线,所述源极线耦接到源极电极;

漏极电极;

存储器单元,所述存储器单元耦接到所述漏极电极;

SOT位线;和

STT位线,所述STT位线耦接到所述存储器单元,其中所述源极线、所述SOT位线和所述STT位线全部设置在单独平面中并且彼此平行。

2.根据权利要求1所述的设备,还包括SOT层,所述SOT层耦接到所述SOT位线、所述存储器单元和所述漏极电极。

3.根据权利要求2所述的设备,其中所述SOT层设置在与所述SOT位线相同的平面内。

4.根据权利要求3所述的设备,其中所述SOT位线包括纵向部分和分支部分。

5.根据权利要求4所述的设备,其中所述分支部分耦接到所述SOT层。

6.根据权利要求5所述的设备,其中所述纵向部分与所述SOT层间隔开。

7.根据权利要求6所述的设备,其中所述存储器单元和所述漏极电极竖直对齐。

8.根据权利要求6所述的设备,其中所述存储器单元与所述漏极电极竖直偏移。

9.根据权利要求1所述的设备,其中所述存储器单元和所述漏极电极竖直对齐。

10.根据权利要求1所述的设备,其中所述存储器单元与所述漏极电极竖直偏移。

11.根据权利要求1所述的设备,其中所述存储器单元包括自由层,所述自由层垂直于所述位线磁化。

12.一种混合STT-SOT存储器设备,包括:

第一字线;

第一栅极电极,所述第一栅极电极耦接到绝缘材料和所述第一字线;第二字线;

第二栅极电极,所述第二栅极电极耦接到所述第二字线和所述绝缘材料;

源极线,所述源极线耦接到源极电极;第一漏极电极;

第二漏极电极;

第一存储器单元,所述第一存储器单元耦接到所述第一漏极电极;

第二存储器单元,所述第二存储器单元耦接到所述第二漏极电极;SOT位线;和

STT位线,所述STT位线耦接到所述第一存储器单元和所述第二存储器单元,其中所述第一字线和所述第二字线在相同平面内交错。

13.根据权利要求12所述的设备,还包括第一SOT层,所述第一SOT层耦接到所述SOT位线、所述第一存储器单元和所述第一漏极电极。

14.根据权利要求13所述的设备,其中所述第一SOT层设置在与所述SOT位线相同的平面内。

15.根据权利要求14所述的设备,其中所述SOT位线包括纵向部分和第一分支部分。

16.根据权利要求15所述的设备,其中所述第一分支部分耦接到所述第一SOT层。

17.根据权利要求16所述的设备,其中所述纵向部分与所述第一SOT层间隔开。

18.根据权利要求15所述的设备,还包括第二SOT层,所述第二SOT层耦接到所述SOT位线、所述第二存储器单元和所述第二漏极电极。

19.根据权利要求18所述的设备,其中所述第二SOT层设置在与所述SOT位线相同的平面内。

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