[发明专利]移动体装置、移动方法、曝光装置、曝光方法、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种移动体装置，具备：

第1移动体，其能保持物体、并往彼此交叉的第1及第2方向移动；

第2移动体，其能往该第2方向移动；

基准构件，其于该第1及第2方向，作为该第1移动体的移动的基准；

第1测量系统，通过多个第1读头与第1格子构件取得该第1移动体相对该基准构件的位置信息，该多个第1读头设在该第1及第2移动体的一方，该第1格子构件设在该第1及第2移动体的另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可通过于该第1方向彼此分离配置的多个格子区域测量该第1移动体于该第1方向的移动范围；

第2测量系统，通过第2读头与第2格子构件取得该第2移动体相对该基准构件的位置信息，该第2读头设在该第2移动体与该基准构件中的一方，该第2格子构件设在该第2移动体与该基准构件中的另一方且具有该第1及第2方向的测量成分并可测量该第2移动体于该第2方向的移动范围；以及

控制系统，根据该多个第1读头中、测量光束照射于该多个格子区域中的至少1个格子区域的至少3个读头的测量信息、与以该第2测量系统取得的位置信息，控制相对于该基准构件的该第1及第2方向的该第1移动体的位置；

该第1测量系统，一边使该第1读头相对该第1格子构件往该第1方向移动、一边对该第1格子构件照射测量光束以取得该第1移动体的位置信息；

该第2测量系统，一边使该第2读头相对该第2格子构件往该第2方向移动、一边对该第2格子构件照射测量光束以取得该第2移动体的位置信息；

该多个第1读头，分别在该第1移动体往该第1方向的移动中，该测量光束从该多个格子区域的1个格子区域脱离，并移至与该1个格子区域相邻的另一格子区域；

该控制系统，将用以使用该多个第1读头中、与该测量光束从该1个格子区域脱离而移至该另一格子区域的该至少3个读头不同的读头控制该第1移动体的移动的修正信息，根据该至少3个读头的测量信息或使用该至少3个读头测量的该第1移动体的位置信息加以取得。

2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，该修正信息，在包含该至少3个读头与该不同读头的至少4个读头各个的该测量光束，照射在包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个的期间取得。

3.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该修正信息，在该至少3个读头中的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前取得。

4.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该第1测量系统，在该至少3个读头中的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前，取代该至少3个读头的1个，使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头，测量该第1移动体的位置信息。

5.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该控制系统，在该至少3个读头的1个的该测量光束从包含该另一格子区域的该多个格子区域中的至少1个脱离前，将使用该至少3个读头的该第1移动体的移动控制，切换为取代该至少3个读头的1个而使用包含已取得该修正信息的该不同读头的至少3个读头的该第1移动体的移动控制。

6.如权利要求1或2所述的移动体装置，其中，该第1格子构件，具有于该第2方向位置与该多个格子区域不同、且于该第1方向彼此分离配置的与该多个格子区域不同的另一多个格子区域；

该多个读头的至少1个，该测量光束照射于该另一多个格子区域的至少1个、且取代该测量光束照射于该多个格子区域的至少1个格子区域的该至少3个读头的至少1个，被用于该第1移动体的位置信息的测量。