[发明专利]氮化锆粉末及其制造方法

说明书

氮化锆粉末，其中，通过BET法测定的比表面积为20~90msupgt;2/supgt;/g，在X射线衍射图谱中，具有氮化锆的峰，而不具有二氧化锆的峰、低次氧化锆的峰和低次氧氮化锆的峰，且在粉末浓度50ppm的分散液透射谱中，370nm的透光率X至少为18%，550nm的透光率Y为12%以下，上述550nm的透光率Y相对于上述370nm的透光率X(X/Y)为2.5以上。

技术领域

本发明涉及适用作绝缘性的黑色颜料的氮化锆粉末及其制造方法。更详细地，涉及作为黑色颜料形成黑色图案膜时形成高分辨率的图案膜的同时所形成的图案膜具有高遮光性能的氮化锆粉末及其制造方法。要说明的是，本国际申请主张2016年9月29日申请的日本特许申请第191425号(特愿2016-191425)的优先权，本国际申请援用日本特愿2016-191425的全部内容。

背景技术

这种黑色颜料被分散在感光性树脂中调制成黑色感光性组合物，将该组合物涂布在基板上形成光致抗蚀剂膜，通过光刻法对光致抗蚀剂膜进行曝光形成图案膜，用于液晶显示器的滤色器等的图像形成元件的黑矩阵。以往作为黑色颜料的炭黑由于具有导电性，不适合要求绝缘性的用途。

以往，作为绝缘性高的黑色颜料，公开了特定组成的称为钛黑的高阻抗黑色粉末，其含有钛氧氮化物所形成的黑色粉末和Y₂O₃、ZrO₂、Al₂O₃、SiO₂、TiO₂、V₂O₅的至少1种所形成的绝缘粉末(例如，参照专利文献1)。认为利用该黑色粉末形成黑色膜时，阻抗值高，遮光性优异，因此适用做滤色器的黑矩阵。

另外，作为含有氮化锆的绝缘性的黑色颜料，公开了微粒子低价（低次）氧化锆･氮化锆复合体，其特征在于，在X射线衍射图谱中，具有低价氧化锆的峰和氮化锆的峰，比表面积为10~60m²/g(例如，参照专利文献2)。该微粒子低价氧化锆･氮化锆复合体是通过将二氧化锆或氢氧化锆与氧化镁、金属镁的混合物在氮气或含有氮气的不活性气体气流中在650~800℃烧成的工序而制造的。认为上述微粒子低价氧化锆･氮化锆复合体可用作黑色系的导电性低的微粒子材料，可在使用炭黑等的电视等的显示器用的黑矩阵等中用作导电性更低的微粒子黑色颜料，另外，根据上述制造方法，可以工业规模制造(量产)上述微粒子低价氧化锆･氮化锆复合体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-266045号公报(权利要求1、[0002]段、[0010]段)

专利文献2：日本特开2009-091205号公报(权利要求1、权利要求2、[0015]段、[0016]段)。

发明内容

发明要解决的问题

但是，专利文献1所示的称为钛黑的黑色粉末、以及专利文献2所示的微粒子低价氧化锆･氮化锆复合体用作黑色颜料时，为了得到更高的遮光性而提高颜料浓度来调制黑色感光性组合物，将该组合物涂布在基板上形成光致抗蚀剂膜，通过光刻法对光致抗蚀剂膜进行曝光形成黑色图案膜时，光致抗蚀剂膜中的黑色颜料也遮蔽作为紫外线的i线(波长365nm)，因此紫外线无法到达光致抗蚀剂膜的底部，在底部发生钻蚀(undercut)，有无法形成高分辨率的图案膜的问题。

本发明的目的在于提供氮化锆粉末及其制造方法，其在作为黑色颜料形成黑色图案膜时形成高分辨率的图案膜的同时，所形成的图案膜具有高的遮光性能。

用于解决课题的技术手段

本发明人发现在X射线衍射图谱中即使二氧化锆、低价氧化锆、低价氧氮化锆的峰微量存在，遮光性能也显著降低，因此将该粉末作为黑色颜料形成黑色图案膜时，不能形成高分辨率的图案膜，而且所形成的图案膜的遮光性能也下降，从而完成了本发明。