[发明专利]用于借助彩色共焦传感器进行光学表面测量的方法和装置

权利要求书

1.一种用于借助于彩色共焦传感器对技术表面进行光学测量的方法，其中，来自至少一个光源的光经由具有限定的色差的光学系统被引导到待测量的样品的表面，

其特征在于，光源在待发射的波长方面被调谐，从样品表面反射回来的光被引导到至少一个光电传感器，其中，随时间测量传感器信号并且确定和评估信号最大值的时刻和强度，其中，表面的高度Z由光源在信号最大值时的波长得出，

其中，借助于检测系统以电子方法分析光电传感器的时变信号以确定信号最大值，其中，所述检测系统具有极值存储器，所述极值存储器监测所述时变信号，直到分别达到信号的极值为止，在达到极值时分别生成峰值指示信号，借助于所述峰值指示信号确定极值的时刻并借助于所述极值的时刻进而确定光源的与信号最大值相关联的波长。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，来自光源的光被分成多个射束，其中，借助于多通道光电传感器并行地检测被反射回来的射束。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使用多个光源，其中，借助于多通道光电传感器并行地检测光源的被反射回来的各个光束。

4.一种用于执行根据权利要求1-3中任一项所述的方法的彩色共焦传感器，所述彩色共焦传感器具有至少一个光源(2)，来自所述光源的光经由具有限定的色差的光学系统(4，14)被引导到待测量的样品(5)的表面，

其特征在于，光源(2)能够在待发射的波长方面被调谐，从样品表面(5)反射回来的光被引导到至少一个光电传感器(7)，其中，借助于检测系统(8)随时间测量传感器信号，并确定信号最大值的时刻，其中，检测系统(8)构造成能够由光源(2)在信号最大值时的波长得出表面(5)的高度Z，

其中，借助于检测系统以电子方法分析光电传感器的时变信号以确定信号最大值，其中，所述检测系统具有极值存储器，所述极值存储器监测所述时变信号，直到分别达到信号的极值为止，在达到极值时分别生成峰值指示信号，借助于所述峰值指示信号确定极值的时刻并借助于所述极值的时刻进而确定光源的与信号最大值相关联的波长。

5.根据权利要求4所述的彩色共焦传感器，其特征在于，所述光电传感器(7)是光电二极管。

6.根据权利要求4或5所述的彩色共焦传感器，其特征在于，来自光源(2)的光借助于分束器被分成多个射束，其中，借助于多通道光电传感器(7)并行地检测被反射回来的射束。

7.根据权利要求4或5所述的彩色共焦传感器，其特征在于，提供多个光源(2)，其中，借助于多通道光电传感器(7)并行地检测来自光源(2)的被反射回来的各个光束。

8.根据权利要求4或5所述的彩色共焦传感器，其特征在于，来自光源(2)的光经由分束器(3)被引导到具有限定的色差的光学系统(4，14)。

9.根据权利要求8所述的彩色共焦传感器，其特征在于，所述分束器(3)是半透明反射镜。

10.根据权利要求8所述的彩色共焦传感器，其特征在于，所述分束器(3)是分束立方体。

11.根据权利要求4、5、9、10中任一项所述的彩色共焦传感器，其特征在于，共焦滤光器(6)位于光电传感器(7)的上游和/或共焦滤光器(6)位于光源(2)的下游。

12.根据权利要求4、5、9、10中任一项所述的彩色共焦传感器，其特征在于，光源(2)、光电传感器(7)和光学系统(14)经由光纤(11)通过光纤耦合器(13)彼此连接。

13.根据权利要求4、5、9、10中任一项所述的彩色共焦传感器，其特征在于，光源(2)是激光器。