[发明专利]具有形状记忆元件的致动器有效
申请号: | 201780059688.2 | 申请日: | 2017-09-27 |
公开(公告)号: | CN109791265B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | B.约翰;M.舒尔兹 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;F03G7/06;G02B7/02;G02B7/08;G03B3/12 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王蕊瑞 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 形状 记忆 元件 致动器 | ||
1.一种致动器(1),沿着位移路径调整待移动的元件(6),所述致动器(1)包括所述待移动的元件(6)、载体(5)、至少一个夹紧元件和第一形状记忆(SM)元件,其中所述第一形状记忆元件连接到所述待移动的元件(6)并且实施为支撑在所述载体(5)上,使得在所述第一形状记忆元件的范围发生变化的情况下,在所述待移动的元件(6)和所述载体(5)之间产生定向的力作用(F),以及其中所述至少一个夹紧元件被配置为施加力,以在所述定向的力作用将所述元件移动至夹紧的位置之后相对于所述载体将所述元件夹紧在固定位置,以及其中所述至少一个夹紧元件包含第二形状记忆元件,所述第二形状记忆元件的力作用被定向到所述待移动的元件(6)上,并且由于所述第二形状记忆元件的所述力作用而将所述待移动的元件(6)夹紧抵靠邻接件,使得夹紧的待移动的元件(6)保持在所述夹紧的位置中,以及其中所述夹紧元件的力以正交方式定向到所述第一形状记忆元件的在所述待移动的元件上的力作用的方向。
2.根据权利要求1所述的致动器(1),其特征在于,所述第一形状记忆元件或所述第二形状记忆元件中的至少一个包含磁性形状记忆材料。
3.根据权利要求2所述的致动器(1),其特征在于,至少一个线圈(16.1、16.2)布置为使得产生磁场,所述磁场的磁场线(MFL)横向于包含磁性形状记忆材料的所述第一形状记忆元件或所述第二形状记忆元件中的至少一个的定向力作用来延伸。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的致动器(1),其特征在于,所述待移动的元件(6)和/或所述载体(5)具有至少一个磁体(22),并且与所述磁体(22)或所述载体(5)相对的所述待移动的元件(6)至少部分地包含磁性材料或彼此吸引的相反磁体(22),使得磁力在所述待移动的元件(6)和所述载体(5)之间起作用,并且所述待移动的元件(6)和所述载体(5)彼此吸引。
5.一种布置(2),包括根据权利要求1至4中任一项所述的致动器(1),包括定界沿着所述位移路径的所述元件的移动的至少一个侧面的壁(13、13.1)和由磁导材料制成的导体(12),其中所述导体(12)在其长度的至少部分之上延伸到所述壁(13、13.1)中,并且所述导体(12)连接到所述第一形状记忆元件和/或第二形状记忆元件中的至少一个,使得所述导体(12)中引导的磁场线(MFL)与所述第一形状记忆元件和/或第二形状记忆元件相互作用。
6.一种光学设备(3),包括根据权利要求1至4中任一项所述的致动器(1)或根据权利要求5所述的布置(2)。
7.根据权利要求6所述的光学设备(3),其形式为物镜(19)。
8.一种调整待移动的元件(6)的设备(3),所述设备(3)包括根据权利要求1至4中任一项所述的至少一个致动器(1)和评估当前空间坐标的评估单元(9)、以及控制单元(10),所述控制单元(10)根据评估的当前空间坐标生成控制命令。
9.根据权利要求8所述的设备(3),其特征在于,所述评估单元(9)和/或所述控制单元(10)配置为,根据操作参数的输入测量值和/或根据操作所述设备(3)的可选择的模式,基于计算规定,生成所述控制命令。
10.根据权利要求8或9的所述设备,其特征在于,所述评估单元(9)和/或所述控制单元(10)经由数据链路连接到至少一个其他部件,并且所述控制单元(10)配置为根据从所述至少一个其他部件接收的数据生成所述控制命令。
11.根据权利要求8至10中任一项所述的设备,包括在载体(5)和待移动的元件(6)之间的实施为感应传感器的至少一个传感器(11),以及将由所述至少一个传感器(11)捕获的测量值数字化的电感到数字变换器(24)。
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