[发明专利]光束扫描装置

权利要求书

1.一种光束扫描装置，其具备具有折射能力的扫描用光学系统，该扫描用光学系统是使经角度可变的扫描构件的反射面偏向的加工用光束入射，并使所述加工用光束于被照射体聚光为光点，且该光束扫描装置具备：

光电检测器，其接收朝向所述扫描构件的反射面投射的原点检测用光束的反射光束，并输出表示所述扫描构件的反射面成为既定角度的时间点的原点信号；

聚光光学系统，其被设定为较所述扫描用光学系统的折射能力低的折射能力，且使所述反射光束于所述光电检测器聚光为光点；及

光束送光部，该光束送光部是将来自连续发光的光源的光束成形为平行光束并输出作为所述原点检测用光束；且

所述光束送光部是以所述原点检测用光束自所述被照射体侧入射至所述扫描用光学系统并朝向所述扫描构件的反射面的方式配置。

2.如权利要求1所述的光束扫描装置，其中

于将与所述扫描用光学系统的折射能力对应的焦点距离设为fo，将与所述聚光光学系统的折射能力对应的焦点距离设为Fgs时，设定为Fgs＞fo。

3.如权利要求2所述的光束扫描装置，其中

将所述焦点距离Fgs相对于所述焦点距离fo设定为2倍以上。

4.如权利要求1至3任一项所述的光束扫描装置，其中

投射至所述被照射体的所述加工用光束是自于紫外波长区域进行脉冲发光的脉冲光源装置产生。

5.如权利要求4所述的光束扫描装置，其中

所述扫描构件为具有多个反射面并绕旋转轴旋转的旋转多面镜、或绕旋转轴往复振动的检流计镜，

所述扫描用光学系统是使经所述扫描构件偏向的所述加工用光束的偏向角与所述被照射体上的所述加工用光束的光点的像高位置为比例关系的f-θ透镜系统。

6.如权利要求1至3任一项所述的光束扫描装置，其中

所述扫描构件为具有多个反射面并绕旋转轴旋转的旋转多面镜、或绕旋转轴往复振动的检流计镜，

所述扫描用光学系统是使经所述扫描构件偏向的所述加工用光束的偏向角与所述被照射体上的所述加工用光束的光点的像高位置为比例关系的f-θ透镜系统。