[发明专利]射频处理设备和方法

权利要求书

1.一种用于射频加热的系统，包括：

多个射频发生器；

多个阻抗匹配模块；

多个电极板，所述多个阻抗匹配模块中的第一阻抗匹配模块和第二阻抗匹配模块电气地耦合在所述多个射频发生器中的相应的第一射频发生器和第二射频发生器与所述多个电极板中的相应的第一电极板和第二电极板之间；

多个直流电源和主控制模块，其中所述多个直流电源中的第一直流电源和第二直流电源分别电气地耦合到所述第一射频发生器和所述第二射频发生器，以及其中所述主控制模块与所述第一射频发生器和所述第二射频发生器通信；

多个步进电机，其中所述多个步进电机中的第一步进电机和第二步进电机分别电气地耦合到所述第一阻抗匹配模块和所述第二阻抗匹配模块，以及其中所述主控制模块与所述第一步进电机和所述第二步进电机通信；以及

输送机，其包括接地电极，

其中当在起始温度下的负载被放置在所述输送机上时，所述系统使用由所述多个射频发生器产生的射频信号来使所述负载在不同于所述起始温度的最终温度下，其中所述输送机将所述负载定位成在第一时间段期间电气地耦合到所述第一电极板，且所述第一阻抗匹配模块与在所述起始温度和所述最终温度之间的第一温度范围相关联，以及其中所述输送机将所述负载定位成在第二时间段期间电气地耦合到所述第二电极板，且所述第二阻抗匹配模块与在所述起始温度和所述最终温度之间的不同于所述第一温度范围的第二温度范围相关联。

2.如权利要求1所述的系统，其中所述第一阻抗匹配模块包括可变电容器，以及其中所述第一步进电机在所述主控制模块控制下通过改变所述可变电容器的电容来改变与在所述第一射频发生器和所述负载之间的所述第一阻抗匹配模块相关联的匹配阻抗。

3.如权利要求1所述的系统，其中所述主控制模块使用由所述第一射频发生器提供的反射功率电平的指示来确定何时将所述负载从所述第一电极板重新定位到所述第二电极板。

4.如权利要求1所述的系统，其中所述第一直流电源向所述第一射频发生器提供第一直流信号，以及所述第一射频发生器将所述第一直流信号转换成具有大于50％的直流到射频功率效率的第一射频信号。

5.如权利要求1所述的系统，其中所述最终温度在-4到-2℃之间、低于0℃的温度或低于滴水损失针对所述负载出现时的温度，或者

其中所述起始温度低于所述最终温度。

6.如权利要求1所述的系统，其中所述第一阻抗匹配模块包括固定或可变电容器，以及与所述固定或可变电容器相关联的电容值针对与所述第一阻抗匹配模块相关联的第一匹配阻抗被选择以在所述第一时间段期间匹配与所述负载相关联的第一负载阻抗。

7.如权利要求6所述的系统，其中所述第二阻抗匹配模块包括第二固定或可变电容器，以及与所述第二固定或可变电容器相关联的电容值针对与所述第二阻抗匹配模块相关联的第二匹配阻抗被选择以在所述第二时间段期间匹配与所述负载相关联的第二负载阻抗，其中所述第一负载阻抗和所述第二负载阻抗彼此不同。

8.如权利要求1所述的系统，其中所述多个电极板布置在所述输送机之上并沿着所述输送机的长度分布，以及其中所述多个电极板中的最后一个电极板与使所述负载在所述最终温度下相关联。

9.如权利要求1所述的系统，其中所述输送机持续地移动以将所述负载从所述第一电极板定位到所述第二电极板，或者

其中所述输送机递增地移动以将所述负载从所述第一电极板定位到所述第二电极板，或者

其中所述第一射频发生器监测反射功率以确定所述负载的温度，所述反射功率被监测为在端点反射功率电平的1％内是准确的或具有在小于1瓦内的准确度，或者

其中所述第一阻抗匹配模块具有第一电容范围，其不同于所述第二阻抗匹配模块的第二电容范围。