[发明专利]用于压电换能器的微机械调节系统

权利要求书

1.一种用于检测血管内的血流速度的系统，所述系统包括：

换能器阵列，其包括多个超声压电换能器，所述换能器中的每一者包括：

载体基底，其具有上表面；

至少一个间隔件，其从所述上表面向上延伸；

换能器元件，其附接到所述至少一个间隔件的上部部分使得所述压电换能器与所述基底的上表面间隔开，所述压电换能器包括上电极和下电极；

设定电极，其定位在所述基底的上表面上，位于所述压电换能器下方；以及

倾斜控制系统，其被构造成将偏置电压施加到所述设定电极，所述偏置电压被构造成在所述设定电极和所述下电极之间产生电位差，这致使所述换能器元件绕枢转轴线在第一倾斜位置和第二倾斜位置之间枢转，

其中，所述换能器阵列具有X轴和Y轴，所述换能器阵列被构造成放置在皮肤区域上，所述X轴基本上与所述皮肤区域下方的血管对准，

其中，所述换能器元件限定在所述第一倾斜位置中相对于所述血管的第一角度和在所述第二倾斜位置中相对于所述血管的第二角度。

2.根据权利要求1所述的系统，其中，所述设定电极包括第一设定电极和第二设定电极，所述第一设定电极定位在所述换能器元件的第一侧部分下方，所述第一侧部分位于所述枢转轴线的第一侧上，所述第二设定电极定位在所述换能器元件的第二侧部分下方，所述第二侧部分位于所述枢转轴线的第二侧上。

3.根据权利要求2所述的系统，其中，在所述第一倾斜位置中，所述换能器元件限定相对于所述血管的第一入射角度，并且在所述第二倾斜位置中，所述换能器限定相对于所述血管的第二入射角度。

4.根据权利要求3所述的系统，进一步包括：

相位控制系统，其被构造成致使所述换能器阵列发射超声波束，所述相位控制系统被构造成使所述波束沿所述Y轴转向以针对阵列换能器定位所述血管所位于的位置处的测量角度。

5.根据权利要求1所述的系统，其中，所述上电极和下电极由多晶硅形成。

6.根据权利要求2所述的系统，其中，所述载体基底包括位于所述基底的上表面上的绝缘层，并且

其中，所述设定电极形成在所述绝缘层中。

7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述载体基底由硅形成。

8.根据权利要求6所述的系统，其中，当所述换能器元件处于所述第一倾斜位置和所述第二倾斜位置中时，所述下电极定位成与所述绝缘层接触。

9.一种补偿相控换能器阵列相对于血管的未对准的方法，所述方法包括：

将换能器阵列放置在皮肤区域上，所述换能器阵列包括多个换能器，所述换能器中的每一者包括：

载体基底，其具有上表面；

至少一个间隔件，其从所述上表面向上延伸；

换能器元件，其附接到所述至少一个间隔件的上部部分使得所述换能器与所述基底的上表面间隔开，所述换能器包括上电极和下电极，所述换能器元件能够绕枢转轴线在第一倾斜位置和第二倾斜位置之间枢转；以及

设定电极，其定位在所述基底的上表面上，位于换能器下方；

通过利用相位控制系统使由所述换能器阵列发射的超声波束转向来定位所述血管所位于的位置处的第一测量角度，其中相应换能器元件处于所述第一倾斜位置中；

将偏置电压施加到所述相应换能器的设定电极以在所述相应换能器的换能器元件和所述相应换能器的下电极之间产生电位差，所述电位差致使所述相应换能器元件从所述第一倾斜位置枢转到所述第二倾斜位置；

通过利用所述相位控制系统使由所述相控换能器阵列发射的超声波束转向来定位所述血管所位于的位置处的第二测量角度；以及

基于所述第一测量角度和所述第二测量角度来确定所述换能器的未对准角度。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，所述第一倾斜位置限定针对所述换能器元件的第一入射角度，并且

其中，所述第二倾斜位置限定针对所述换能器元件的第二入射角度。