[发明专利]搬运装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、以及元件制造方法

权利要求书

1.一种搬运装置，其用于对物体的多个区域分别扫描曝光的曝光装置，相对于可非接触地支撑所述物体的所述曝光装置内的支撑部而搬运所述物体，所述搬运装置包括：

第1保持部，在位于所述支撑部的上方的第1位置，保持所述物体的一部分；

第3保持部，于位于所述支撑部的上方的所述第1位置，保持所述物体的其他部分；

驱动装置，从在所述第1位置，借由所述第1保持部与所述第3保持部保持所述物体的状态，使所述第3保持部朝与上下方向交叉的交叉方向移动，以解除所述物体的所述其他部分的保持；

搬出装置，搬出支撑于所述支撑部上的其他物体；

驱动部，若所述第3保持部借由所述驱动装置朝所述交叉方向移动并解除所述物体的所述其他部分的保持，则使保持所述物体的一部分的所述第1保持部，以所述物体的所述多个区域，非接触地支撑于所述其他物体借由所述搬出装置而被搬出的所述支撑部的方式朝下方移动；以及

第2保持部，借由所述驱动部而移动由所述第1保持部保持的所述物体，且保持所述多个区域非接触地支撑于所述支撑部的所述物体；

与所述搬出装置从所述支撑部搬出所述其他物体的动作至少一部分并行，所述驱动装置使所述第3保持部自所述物体的下方退避；

所述驱动部使所述第1保持部自所述第1位置移动至可将所述物体交付至所述第2保持部的第2位置。

2.如权利要求1所述的搬运装置，其中所述第1保持部借由所述驱动部而移动至较所述第2位置更靠下方的位置，并将所述物体交付至所述第2保持部。

3.如权利要求1或2所述的搬运装置，其中所述第2保持部保持所述物体中与由所述第1保持部保持的区域不同的区域。

4.如权利要求1或2所述的搬运装置，其中所述第2保持部进行自所述第1保持部交付的所述物体的相对于所述支撑部的位置调整。

5.如权利要求1或2所述的搬运装置，其中所述第1保持部进行所述物体的相对于所述支撑部的位置调整，并将所述物体交付至所述第2保持部。

6.如权利要求4所述的搬运装置，其中所述支撑部于所述位置调整中使气体介隔存在于所述支撑部与所述物体之间而非接触地支撑所述物体。

7.如权利要求1或2所述的搬运装置，其中所述第1保持部在位于较所述支撑部而言更靠上方的所述第2位置将所述物体交付至所述第2保持部。

8.如权利要求1或2所述的搬运装置，其进而包括驱动系统，所述驱动系统使所述第2保持部以所述第2保持部自所述第1保持部接收位于所述第2位置的所述物体的方式朝所述第2位置移动。

9.如权利要求8所述的搬运装置，其中所述驱动系统使所述第2保持部于一部分与所述第1保持部的可移动范围重叠的范围内移动。

10.如权利要求8所述的搬运装置，其中所述驱动系统使所述第2保持部相对于所述支撑部进行相对移动。

11.如权利要求1所述的搬运装置，其中与所述搬出装置搬出所述其他物体的动作至少一部分并行，所述驱动部使保持所述物体的一部分的所述第1保持部朝下方移动。

12.如权利要求1所述的搬运装置，其进而包括保持所述其他物体的一部分的第4保持部，

所述第4保持部将所述其他物体交付至所述搬出装置。

13.如权利要求12所述的搬运装置，其中所述支撑部具有收纳所述第4保持部的第1收纳部。

14.如权利要求1或2所述的搬运装置，其中所述驱动部以所述物体借由介隔存在于所述物体与所述支撑部之间的气体而不发生变形的方式，使所述第1保持部移动。