[发明专利]固态摄像元件、固态摄像元件的制造方法和电子装置有效
申请号: | 201780061002.3 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN109804467B | 公开(公告)日: | 2022-12-16 |
发明(设计)人: | 纳土晋一郎 | 申请(专利权)人: | 索尼公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H01L21/76;H01L31/10;H04N5/369 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 乔焱;曹正建 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 固态 摄像 元件 制造 方法 电子 装置 | ||
1.一种固态摄像元件,其包括:
多个像素,所述多个像素分别包括形成在硅基板上的光电转换元件,
其中,所述多个像素中的一部分像素的每一者具有被第一类型分离区域分隔的所述光电转换元件,所述第一类型分离区域在沿着所述硅基板的厚度方向的方向上呈平板状延伸,
其中,所述多个像素中的其他部分像素的每一者具有被由与所述第一类型分离区域的材料不同的材料形成的第二类型分离区域分隔的所述光电转换元件,所述第二类型分离区域在沿着所述硅基板的所述厚度方向的所述方向上呈平板状延伸,
其中,所述多个像素包括红色像素、蓝色像素和绿色像素的组合,
其中,具有被所述第二类型分离区域分隔的所述光电转换元件的所述像素的每一者包括所述蓝色像素,且
其中,具有被所述第一类型分离区域分隔的所述光电转换元件的所述像素的每一者包括所述红色像素和所述绿色像素。
2.一种固态摄像元件,其包括:
多个像素,所述多个像素分别包括形成在硅基板上的光电转换元件,
其中,所述多个像素中的一部分像素的每一者具有被第一类型分离区域分隔的所述光电转换元件,所述第一类型分离区域针在沿着所述硅基板的厚度方向的方向上呈平板状延伸,
其中,所述多个像素中的其他部分像素的每一者具有被由与所述第一类型分离区域的材料不同的材料形成的第二类型分离区域分隔的所述光电转换元件,所述第二类型分离区域在沿着所述硅基板的所述厚度方向的所述方向上呈平板状延伸,且
其中,所述平板状的所述第二类型分离区域包括二氧化硅膜,所述第二类型分离区域具有等于或小于蓝光波长的平板厚度。
3.根据权利要求2所述的固态摄像元件,其中,所述多个像素包括红色像素、蓝色像素和绿色像素的组合,
其中,具有被所述第二类型分离区域分隔的所述光电转换元件的所述像素的每一者包括所述蓝色像素,且
其中,具有被所述第一类型分离区域分隔的所述光电转换元件的所述像素的每一者包括所述红色像素和所述绿色像素。
4.根据权利要求2所述的固态摄像元件,其中,具有被所述第一类型分离区域分隔的所述光电转换元件的像素的每一者与具有被所述第二类型分离区域分隔的所述光电转换元件的像素的每一者为颜色不同的像素。
5.一种电子装置,其包括根据权利要求1-4中任一者所述的固态摄像元件。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的