[发明专利]具有润滑剂供应系统的涡轮分子泵

说明书

一种涡轮分子泵具有：壳体（120）；转子轴（24），其由多个轴承（32、34）支撑以便围绕旋转轴线（26）相对于壳体旋转；偏转器（40）；润滑剂供应系统（36）；以及润滑剂传递装置（38），其设置在转子轴上。轴承包括滚动轴承（32），该滚动轴承经由润滑剂传递装置从润滑剂供应系统接收润滑剂。滚动轴承安置在润滑剂传递装置和偏转器中间，并且偏转器被构造成使穿过所述滚动轴承的润滑剂相对于转子轴向外偏转。

技术领域

本发明涉及涡轮分子泵润滑剂供应系统。

背景技术

涡轮分子泵包括转子，转子包括多个盘，所述盘安装在转子轴上以便相对于以与转子盘成交错关系安置的多个定子盘旋转。转子轴由轴承布置支撑，该轴承布置可包括位于轴的相应端部处或相应端部中间的两个轴承。上轴承可以呈磁轴承的形式，并且下轴承通常是滚动轴承。

通常的滚动轴承包括：内座圈，其相对于转子轴固定；外座圈；以及多个滚动元件，其位于这些座圈之间以便允许内座圈和外座圈的相对旋转。为了防止滚动元件之间的相互接触，它们常常由保持架引导并均匀地间隔开。充分的润滑对于确保滚动轴承的准确且可靠的操作而言至关重要。润滑剂的主要目的是建立负荷承载膜以在滚动和滑动接触中分离轴承部件，以便使摩擦和磨损最小化。其他目的包括防止轴承部件的氧化或腐蚀、形成对污染物的屏障以及将热传递远离轴承部件。润滑剂通常呈油或油脂（油和增稠剂的混合物）中的任一者的形式。

使用油润滑轴承的涡轮分子泵需要给油系统以在轴承的接触区域之间馈给油。这使得油能够执行冷却以及润滑，并由此准许轴承以更快的速度运转。涡轮分子真空泵传统上使用芯吸系统以便向滚动轴承供应油。在此类系统中，由油储存器供应的毡芯向安装在轴上的圆锥形“给油”螺母馈给油。当轴旋转时，油沿螺母的圆锥形表面行进到轴承。然后，油穿过轴承并在重力的影响下返回储存器。

从中供应毡芯的油储存器可包括两个堆叠，这两个堆叠包括毡层，这些毡层抵靠毡芯的相应主表面安置使得毡芯夹在这两个堆叠之间。

向轴承馈给油的馈给速率可受到许多因素的影响，包括圆锥形螺母的锥角、油从芯到螺母的传递速率、螺母的圆锥形表面的表面光洁度、温度和轴的旋转速度。

发明内容

本发明提供一种涡轮分子泵，其包括：

壳体；

安置在所述壳体中的泵送机构，所述泵送机构包括具有旋转轴线的转子轴；

多个轴承，其支撑所述转子轴以便围绕所述旋转轴线相对于所述壳体旋转，所述多个轴承包括滚动轴承；

偏转器；

润滑剂供应系统；以及

润滑剂传递装置，其设在所述转子轴上以将润滑剂从所述润滑剂供应系统传递到所述滚动轴承，

其中，所述滚动轴承安置在所述润滑剂传递装置和所述偏转器中间，并且所述偏转器被构造成使穿过所述滚动轴承的润滑剂相对于所述转子轴向外偏转。

附图说明

在以下公开内容中，将参考附图，附图中：

图1是涡轮分子真空泵的示例的示意性表示；

图2是穿过图1的涡轮分子真空泵的轴承和润滑剂供应系统的剖视图；

图3是图2的一部分的放大图；

图4是图2的润滑剂供应系统中的润滑剂循环路径的示意性图示；

图5是图示针对润滑剂供应系统的改型的平面图；

图6是示出针对润滑剂供应系统的另一种改型的平面图；

图7是穿过用于润滑剂供应系统的替代性偏转器的示例的剖视图；以及