[发明专利]基板检查装置及利用其的基板检查方法

权利要求书

1.一种基板检查装置，其中，包括：

测量部，其获得关于基板的至少一部分的测量数据；

处理部，其以在所述基板上设置的多个特征对象为基础，比较所述基板的测量数据及已获得的所述基板的基准数据，执行所述基板的翘曲补偿，检查经翘曲补偿的所述基板；

显示部，其显示用于调节由所述翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及所述翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围；及

输入部，其从使用者接受输入所述检查速度的第一级别及所述精密度的第二级别作为交替换位关系的特定设置组合，

所述处理部在设置所述检查速度及所述精密度时，在用于提高所述翘曲补偿的精密度的多个选项中，指定应用已设置的特定选项以实现设置的所述检查速度及所述精密度。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其中，

所述显示部将所述第一级别及所述第二级别分别显示为不连续型的第一阶段及第二阶段，或分别显示为连续的第一加权比率及第二加权比率。

3.一种基板检查方法，作为利用基板检查装置的基板检查方法，其中，所述基板检查装置执行检查对象基板的翘曲补偿，检查翘曲被补偿的所述基板，包括：

所述基板检查装置显示用于调节由所述翘曲补偿决定的检查速度的第一级别及所述翘曲补偿的精密度的第二级别所需的范围的步骤；

从使用者接受输入所述检查速度的第一级别及所述精密度的第二级别作为交替换位关系的特定设置组合的步骤；

根据对所述检查速度的第一级别及所述精密度的第二级别的所述设置组合，以所述基板上的特征对象为基础补偿所述基板的翘曲的步骤；及

检查所述翘曲被补偿的所述基板的检查区域的步骤；

在补偿所述基板的翘曲的步骤中，当设置所述检查速度及所述精密度时，在用于提高所述翘曲补偿的精密度的多个选项中，指定应用已设置的特定选项以实现设置的所述检查速度及所述精密度。

4.根据权利要求3所述的基板检查方法，其中，

显示所述第一级别及所述第二级别的步骤包括：

分别显示为不连续型的第一阶段及第二阶段的步骤；

或分别显示为连续的第一加权比率及第二加权比率的步骤。

5.一种记录了体现根据权利要求3或4中任意一项所述的基板检查方法的程序的计算机可读非暂时性记录介质。